中古 XEI SCIENTIFIC Evactron 10 #293591322 を販売中

XEI SCIENTIAL REQUTRON 10 from XEI SCIENTIFICは、精密および一般的なIC製造に使用するための最先端のプラズマアシストウェハエッチング装置です。高いスループットと優れた表面仕上げ品質で均一なエッチングと成膜を提供するように設計されています。特にエッチング性に優れ、エッチングなしで高アスペクト比エッチングが可能です。 直接プラズマ、電気化学、およびマグネトロンスパッタリングを含んで、XEIの科学的な避難10は基質の温度およびガスの流れの精密な制御を可能にします、 利用可能なエッチングメディアの広い範囲を使用して、ユーザーが自分のプロセスに最も適したエッチングレシピをカスタマイズできるようにするだけでなく、。一度に最大20個のウェーハをバッチ処理できるため、従来のエッチングチャンバーと比較してスループットが大幅に向上し、サイクルタイムが短縮されます。優れたエッチング品質を提供することに加えて、XEI SCIENTIFIC Evaltron 10にはプライムIC製造に最適化されたさまざまな追加機能も含まれています。これらには、エッチングプロセスの最適化と再現性を確保するための簡単なレシピのセットアップのための強力なコンピュータ制御オートメーションシステムが含まれます。このオートメーションシステムは、リアルタイムでプロセスを遠隔監視し、エッチング条件を所望の範囲内に保つためのパラメータの自動調整を可能にします。最先端の高真空真空技術により、極端な低真空条件でのウェーハ処理や、超高度アシモフまたは超高熱処理環境でのウェーハ処理が可能になります。また、高度な診断と制御システムにより、プロセスのトラブルシューティングと最適化が可能になります。効果的なプロセス制御を可能にする高度な検出ユニットは、プロセス条件に関する包括的なフィードバックを提供し、ダウンタイムを最小限に抑えて所望のプロセス結果を確実に達成します。高度な診断および制御システムは、プロセス関連の欠陥の根本原因を明らかにし、プロセスウィンドウを自信を持って最大化するために必要なツールと情報をユーザーに提供するのに役立ちます。XEIの科学的な避難10は効率的な生産および良質の結果のために設計されている高度のウェーハエッチング機械です。洗練されたオートメーション、強力なコンピュータ制御システム、高度な診断と制御を使用することで、Evaltron 10は繰り返し可能で高品質な結果と優れたプロセス制御を保証します。