中古 VWR 75D #9092020 を販売中

VWR 75Dは、半導体デバイス製造用に設計されたオールインワンウェーハ処理装置です。その精密構造は、チップを製造する際の優れたスループットと品質を可能にします。このシステムは、高度な空気真空複合5軸ステージを使用し、XY平面の動きに最大75nmのステップ精度を提供します。完全に自動化された75Dは、半導体の製造手順を完全に制御するための手動操作と自動化された操作の両方を提供します。VWR 75Dには、リアルタイム画像解析と高精度なデバイス配置の両方を提供する高度なオンボードビジョンとポジショニングユニットが装備されています。このマシンは、高性能のCCDカメラ、ユーザーの影響を受けたアルゴリズム、および自動化されたガイドを使用して、各ウェハを正確に整列させて、非常に正確なデータをキャプチャします。熱および静電気の損傷への早期暴露を避けるために、追加の監視およびフィードバック機能も備えています。75Dは非常に汎用性が高く、ドライエッチング、ディスペンシング、表面洗浄、インプラントなどのさまざまなプロセスモジュールをサポートしています。複数の用途に対応し、様々な真空レベルや温度調整が可能です。このツールは、ウェーハ露出と異なるモジュールを制御するためのさまざまなオンボードコントローラまたはリモートコントローラもサポートしています。最後に、VWR 75Dには、ユーザーが単一の端末からウェーハ処理のすべての側面を制御することができる高付加価値のプログラム可能なタッチスクリーンコントローラが装備されています。さまざまなサードパーティ製ソフトウェアをサポートし、コーディングとデバッグをこれまで以上に簡単かつ迅速に行う独自の文書化されたインターフェイスが提供されています。便利のために、75Dはまた緊急遮断および目の保護装置のようなさまざまな安全特徴を含んでいます。VWR 75Dは装置製作のための理想的な選択で、小規模および大きい生産の必要性のために適しています。高い信頼性と安全性により、ほとんどのアプリケーションにおいて比類のないレベルの精度と高品質の結果を提供します。最大の生産性、コスト削減、パフォーマンスの向上を実現します。75Dは素晴らしい選択です。