中古 VWR 750 D #9082479 を販売中

VWR 750 Dは、半導体製造および研究開発（R&D）アプリケーションのニーズを満たすように設計された最先端のウェーハ処理装置です。このシステムは、ウェーハの薄型化、背面研削、表面処理、化学機械平坦化（CMP）、包装など、半導体生産ライフサイクルのすべてのフェーズに使用できます。750 Dは、最先端の半導体部品の製造および開発における精密かつ効率的なプロセスを可能にします。このユニットは、温度および圧力性能オプションのフルレンジを備えており、正確なプロセスチューニングと改善されたプロセス制御を可能にします。この機械は、高度なエッチング処理を行う能力を備えた完全なCMPステーション、および金属蒸着処理および研磨を備えています。自動化された温度制御されたプロセスチャンバーにより、正確な制御と再現可能なプロセスにより、歩留まりを最適化し、サイクル時間を短縮できます。VWR 750 Dには、プログラミング済みのレシピとバッチ構成プロファイルが豊富に用意されており、プロセスのセットアップとスケジューリングが強化されています。自動化されたウェーハリフター、コンベア、ハンドリング技術、およびウェーハサイズの複数のオプションも提供しています。このマシンは、すべてのマシンパラメータを簡単に設定するための直感的なユーザーインターフェイスを備えており、さまざまなソースから実行するようにプログラムすることができます。750 Dには包括的な監視ツールが組み込まれています。これには、一連のオンラインプロセス分析ツールを備えた組み込みプロセス監視アセットが含まれます。これらの診断ツールを使用すると、プロセスの問題を迅速に特定して解決できます。さらに、このモデルには、詳細な機器統計、最新のプロセス情報、完全なトレーサビリティを提供する一連のステータス監視ツールが含まれています。ウェーハ処理システムは、安全性と清潔性を念頭に設計されています。コンテインメントユニットは、潜在的に危険な材料がプロセスチャンバーに入るのを防ぎます。さらに、このマシンは、有毒ガス排出基準を含むすべての適用される安全規制に準拠しています。VWR 750 Dは、安定した信頼性の高い動作を実現するために、高精度のサーボ駆動ステッピングモータ、振動絶縁、低騒音の振動減衰設計を備えています。また、最先端のロボットメカニズムとオートメーションコンポーネントを備え、資産の効率と精度を向上させます。750 Dは、半導体研究や生産アプリケーションに適した高性能ウェーハ加工モデルです。装置のさまざまな精密プロセス制御オプション、自動化されたリフターおよびコンベアシステム、直感的なユーザーインターフェイス、包括的な監視システムにより、半導体製造および研究ニーズに最適なソリューションです。