中古 VIRTIS Virsonic 100 #9082486 を販売中

VIRTIS Virsonic 100は、ウェーハ後処理環境の効率を最大限に高めるために設計された画期的なウェーハプロセス装置です。このシステムは、単一の実行で同じサイズと厚さの複数のウェーハを自動的に処理するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスを備え、完全に自動化されたワークフローユニットを備えており、スループットを最大化しながらユーザーの介入を最小限に抑えます。Virsonic 100は、サンプルカルーセル、ウエハートレイ、暖房室、冷却装置の4つの主要コンポーネントで構成されています。サンプルカルーセルは、ウェーハを所定の位置に保持し、同時に処理することができます。ウェーハトレイは、処理中にウェーハを確実に保持します。加熱チャンバーは最大500°Cの温度に達することができ、正確なプロセス制御のための均一な加熱を提供します。冷却ツールは、プロセス全体の均一性を確保するためにウェーハの温度を下げることができます。VIRTIS Virsonic 100は非常にモジュール式で、ユーザーの要件に基づいてカスタマイズすることができます。洗浄、乾燥、化学蒸着、物理蒸着、エッチングなどの設定可能なプロセス工程を提供します。これにより、ユーザーは特定のウェーハプロセス要件に合わせてアセットをカスタマイズできます。また、温度、圧力、流量のリアルタイム情報を監視するセンサを搭載し、工程ごとに精密制御を行います。Virsonic 100は、幅広い業界に理想的なウェーハ加工装置です。優れた再現性と高いスループットを提供します。その設定可能なプロセスステップは、ユーザーが特定のアプリケーションに対して望ましい結果を達成できるように、最大限の汎用性を提供します。直感的なユーザーインターフェイスとリアルタイムフィードバックにより、ユーザーはプロセスパラメータを完全に制御し、歩留まりと効率を最大限に高めることができます。