中古 VICOSONIC VS11 800 #9303676 を販売中

VICOSONIC VS11 800は、幅広い環境でのパフォーマンスと精度のために設計された最先端のウェーハ処理装置です。ロボット化されたウェーハハンドリングを備えたロードロックシステム、ウェーハクリーニングモジュール、高度なソフトウェアコントロール、モジュラー統合真空ユニットなどの高度な機能を備えたVS11 800は、自動ウェーハ製造のための強力なツールです。ロボットウェーハハンドリングを備えた統合ロードロックマシンにより、ローディングとアンロードのプロセスを自動化できます。大型ロードチャンバーは最大10個のウェーハを同時に保持でき、人間工学に基づいて設計されたローダー/アンローダーモジュールは、自動化された操作とチャンバ部品への容易なアクセスを提供します。調節可能なチャンバーのふたは真空の正確な圧力制御そして均一なサンプルのローディングを可能にします。VICOSONIC VS11 800に統合されたウェーハクリーニングモジュールは、複数のウェーハを一度に処理および洗浄するための完全なソリューションを提供します。イオンビームエッチャーは、スパッタリングツールを使用してウェーハ表面をきれいにするために使用されます。特殊な真空タンクは、洗浄プロセス中に存在する可能性のある粒子やその他の残留物をトラップして除去します。タッチスクリーンモニターで利用可能な統合ソフトウェアコントロールにより、資産全体のセットアップとプログラミングが容易になり、処理パラメータと運用効率を最適化できます。メモリコントロールモデルは機器の動作条件を記憶し、ステップバイステップの指示はユーザーフレンドリーな操作に使用できます。高度の熱制御と結合されるモジュラー統合された真空システムは蒸気圧力の精密で、有効な制御を提供します。これにより、手動ローディング方式よりも高い精度で優れた再現性のあるウェーハ処理結果を実現します。VS11 800は、世界トップクラスの機器と革新的なエンジニアリングを組み合わせて、今日の絶え間なく変化する半導体製造プロセスに、強力で信頼性の高いウェーハ処理ユニットを提供します。VICOSONIC VS11 800は、洗練された機械設計、高度なソフトウェアコントロール、効率的なモジュラー真空ツールにより、ウェーハの自動生産に最適です。