中古 TAKANG VMC 760 #149977 を販売中

TAKANG VMC 760は、高品質のウェーハの生産を容易にするために設計された多機能ウェーハ処理装置です。このシステムは、スピンコーティング、ディッピング、エッチング、フォトリソグラフィー、スピンドライなど、さまざまな操作を1台のマシンで行うことができます。さらに、VMC 760にはロボットアームが搭載されており、プロセスの段階と手元の操作に特化した個々のツール間でウェーハを自動的に転送することができます。ロボットアームの自動化により、TAKANG VMC 760は最大200mm （8インチ）のウェーハの動きを素早く正確に制御することができ、さまざまな操作に使用できます。さらに、VMC 760には強力なエッチングユニットが装備されており、2つのメガエッチングシステムを備えており、III型とIV型の両方のレジストレイヤーのエッチングが可能です。TAKANG VMC 760にはシミュレーションソフトウェアが付属しており、圧力、濃度、流量などのパラメータを正確に調整し、最高品質の結果を保証します。このマシンには、エッチング処理中のウェーハの温度と速度を監視するためのオプトエレクトロニクスも付属しており、毎回結果が一致していることを確認するのに役立ちます。さらに、最大12層のウェーハを適切に配置するためのマルチレイヤアライナーもあります。つまり、ウェーハの複雑さに関係なく、ウェーハが正しく処理されます。エッチング工程以外では、VMC 760を使用すると、スピンコーティング、フォトリソグラフィー、スピンドライを行うことができます。スピンコーティングプロセスは、精密潤滑ノズルを使用して、ウェーハに材料の薄い層を適用し、その後、材料が均等に分布するようにウェーハを正確な速度に回します。同様に、フォトリソグラフィーオプションは、UV光、酸化膜などの材料を使用してウェーハ表面に微細な特徴を作成するために使用されます。最後に、スピン乾燥プロセスは、様々な操作が完了した後、ウェーハに存在する水分を除去します。TAKANG VMC 760は、ロボットアーム、シミュレーションソフトウェア、オプトエレクトロニクス、多層アライナーを備えた強力なウェーハ処理ツールです。これらの機能により、このマシンは高品質のウェーハの生産に理想的であり、生産時間を短縮し、毎回結果が一貫していることを確認するのに役立ちます。