中古 TAICHAO TS12-094 #293655247 を販売中

TAICHAO TS12-094は、中国を拠点とするTAICHAO Electronics社の最先端ウェーハ加工装置です。このシステムは、高度な集積回路とフォトニック製品の最適な生産のために特別に設計されています。フォトリソグラフィ、プラズマエッチング、ウェット加工、熱処理など、さまざまなウェハ加工アプリケーションで半導体業界で広く使用されています。エネルギー効率と環境保護を念頭に置いて構築されたTS12-094ユニットは、あらゆる種類のマイクロ生産プロセスに最適化と制御を提供するコンピュータ数値制御（CNC）マシンを備えています。強力なDC電気駆動の摩耗スピンドルを搭載し、強力で正確な処理を提供します。また、CNCツールは、広範囲のウェーハに高精度の切断を提供し、統合された操作制御と監視を提供します。TAICHAO TS12-094アセットは、高度なプラズマエッチングのために、超クリーンなパスを作成するための高質量イオン化を提供することができる高出力イオン源を備えています。また、高精度な位置決め機構を備えており、非常に正確なエッチング結果を得ることができます。さらに、効率的かつ正確な熱処理を実現する384点温度制御を搭載しています。TS12-094には、リアルタイムのプロセス監視と制御を提供する、プロセス指向の統合ソフトウェアパッケージが用意されています。これらのパッケージは、高度に自動化された正確な操作を可能にし、欠陥を低減し、プロセス歩留まりを改善します。このソフトウェアは、使いやすさのために直感的なインターレイヤで、ユーザーフレンドリーに設計されています。安全面では、装置には動作環境を監視するための包括的な監視システムが装備されています。これには、事故による火災やユニット停止のリスクを低減するための温度、圧力、および電圧の監視が含まれます。これらの機能はすべて、TAICHAO TS12-094ウェーハ生産プロセスをより高度なレベルにアップグレードしようとしている企業にとって理想的な選択肢です。