中古 TAESUNG TSG-SE-250 #9233642 を販売中

TAESUNG TSG-SE-250は、ダイシング、研削、ウェーハボンディング、およびシリコンなどの基板や表面などの用途向けに設計された高効率で正確な他のウェーハ処理装置です。このシステムは、8インチから12インチまでのさまざまな基板およびウエハサイズをサポートしています。本体、ロボットウェハハンドリングユニット、コンベア機で構成されています。本体には、リアルタイムフィードバックによるモーションコントロールを可能にする高精度モーションコントロールプラットフォームを搭載しています。高い精度と再現性を提供し、ウェーハ研削、切削、接合などの加工プロセスを自動制御できます。温度を調節し、加工時に発生する粘度が高いため、工具が理想的な温度で動作するようにチラーユニットを装備しています。ロボットウェーハハンドリングアセットは、ウェーハを迅速かつ正確にモデルに配置して処理するように設計されています。また、ウェーハをトレイに分離することも可能です。ロボットには6軸コントローラを搭載しており、正確な制御と正確なウェーハアライメントが可能です。このシステムは、遅いウェーハの動きだけでなく、高速なウェーハの動きも処理でき、並列線やグリッドなどの特定のパターンを処理するようにプログラムすることができます。コンベアユニットは、処理に必要なすべての作業にウェーハを移動します。機械は高速および正確さを提供する3軸コンベヤーが装備されています。ウェーハの繊細な表面に損傷を与えることなく、連続ストリームでウェーハを移動するように設計されています。このツールには、欠陥のあるウェーハを収集し、メインプロセスストリームから分離するためのリジェクトボックスも装備されています。全体的TSG-SE-250は、ダイシング、研削、ウェーハボンディングなどの用途や、シリコンなどの基板や表面に最適な、高性能なウェーハ加工アセットです。精密モーションコントロールプラットフォームと高速コンベアモデルによる高精度と再現性を提供し、効率を高めるためのロボットウェハハンドリング装置を提供します。