中古 TAESUNG TSG-SE-250 #9233640 を販売中

TAESUNG TSG-SE-250は、ウェーハ加工用に設計された最先端の機器です。このシステムは、OPC （Open Platform Control）などの高度なプロセス分析手法を利用して、プロセス入力と出力を追跡および分析するための統合されたプロセス制御および監視ユニットを備えています。TSG-SE-250マシンはあらかじめ設定されたモジュラーレイアウトを備えているため、同じプラットフォームから最大5つの同時プロセスツールをすべて収容できます。つまり、同じ複雑なウェーハ製造プロセスをすべて同時に処理することができます。TAESUNG TSG-SE-250は、さまざまな安全性とプロセス固有の機能を備えて設計されています。空気圧式のゲートツールは、ウェーハ処理中に各チャンバーが安全な大気圧で維持され、汚染が制限されることを保証します。さらに、アセットには精密なアラームモデルが装備されています。TSG-SE-250はまた暖房および冷却の点で非常に有効です。この装置には、プロセス全体の一定の温度を維持する2つの高効率チラーが装備されています。これにより、プロセスチェーン全体が十分に維持され、システム全体で熱伝達が容易になります。さらに、このユニットは正確にキャリブレーションされた窒素フローマシンを備えており、最適化された冷却および加熱サイクルを提供し、電極の損傷や温度勾配に対する最適な熱保護を保証します。TAESUNG TSG-SE-250の中心は、すべてのプロセス条件をリアルタイムで分析するために統合されたプロセス監視資産と連携するOPCツールです。完全なモデルは、イーサネット接続を介してOPCサーバーに接続されているため、簡単なデータロギングと分析のための迅速なフィードバックが可能です。この装置は、ウェーハ処理プロセス全体における圧力、電流、温度を測定するために、埋め込まれた工業用グレードのセンサーを使用しています。これにより、すべてのプロセスが安全かつ正確に実行され、歩留まりと品質が向上します。結論として、TSG-SE-250は精度と安全性でウェーハを処理するように設計された高度なシステムです。一体型モニタリングユニット、高効率チラー、精密警報機、OPCツールを搭載し、最高の性能、高い歩留まり、高品質の製品出力を提供します。これらの機能を備えたTAESUNG TSG-SE-250は、あらゆるウエハファブプロセスに最適です。