中古 TAESUNG TSG-JET-250 #9233636 を販売中

TAESUNG TSG-JET-250は、さまざまなウェーハ加工プロセスに対応する汎用性の高い自動ウェーハ加工装置です。マルチステーション処理ステーションからなる単一のシステムです。クリーンルーム環境での使用のために設計されたこのユニットは、さまざまな産業および半導体アプリケーションに適しています。TSG-JET-250にモジュール設計があり、特定の適用に従って容易なカスタム化を可能にします。高精度のフルサーボマシンを備えており、各ステーションを非常に正確な速度で移動させます。これにより、製品の損失を最小限に抑えながら、厳しい許容誤差と高い歩留まりを実現します。メインコントローラボードは、リアルタイムのデータ監視とデータロギングを提供し、プロセス制御のためのさまざまな種類のPCBやウェーハにアクセスすることができます。TAESUNG TSG-JET-250には、ウェーハを処理ステーション内に搬送する自動ウェーハ搬送ロボットが搭載されています。ロボットは磁気ベースの技術に基づいているため、処理中にウェーハに潜在的な損傷を与えません。また、ウェーハから残留溶剤やその他の汚染物質を除去するための真空洗浄およびブロー乾燥機能も備えています。このツールには、ウェーハのリアルタイム検査のための統合されたオンラインウェーハ検査モジュールも含まれています。検査中のプロセスパラメータを最適に制御するための3つのレーザー集光システムが装備されています。さらに、この資産は、自動的なデータ収集と記録、ならびにポストプロセス評価のためのデータ分析機能を提供します。TSG-JET-250には、ほこり除去モデルもあります。これは、処理中にチップから収集された粉塵粒子を除去する特別なフィルターで構成されています。また、静電気レベルを制御する静電気シールドシステムや、搬送時のウェーハのジギングを防ぐソフトロック機構も搭載しています。全体として、TAESUNG TSG-JET-250は高度で信頼性の高いウェーハ処理ユニットであり、さまざまな産業および半導体アプリケーションに精度と高い歩留まりを提供するように設計されています。統合されたオンライン検査モジュール、ほこり除去機、その他の機能により、TSG-JET-250はウェーハ処理を容易かつ効率的にします。