中古 TAECHANG TENC-0719 #293664986 を販売中
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TAECHANG TENC-0719は、業界をリードするフル機能の他のウェーハ加工装置です。この完全自動化システムは優れた機能を提供し、比類のないレベルの運用信頼性とパフォーマンスで高い歩留まりを達成します。TENC-0719のモジュラーアーキテクチャにより、拡張性とカスタム構成が容易になります。TAECHANG TENC-0719のユニットコアは、Linuxベースの操作ツールを備えたスケーラブルな自動化機械によって提供されます。これにより、アセットをプログラムおよび構成して、さまざまなウェーハ処理レシピを有効にすることができます。高性能コントローラには複数のCPUと大きなRAMがあり、複数のコマンドとプロセスを同時に実行できます。さらに、コントローラには複数のポートが装備されており、周辺機器との通信や既存システムへの統合が可能です。TENC-0719には、温度、湿度、運動、圧力センサなど、複数のセンサーがあります。これらのセンサは、ウェーハ処理環境を制御し、モデル内部で行われるプロセスに関する情報を提供するために使用され、処理条件の正確な調整とプロセスの最適化を可能にします。また、ウェーハトラッキング用の自動バーコードやRFID識別子、カメラベースのプロセス制御用の光検出器、自動ウェーハハンドリング用のマルチゾーン絶縁システムなど、欠かせないツールが揃っています。また、中規模および大規模プロセスを含む複数の動作モードでプロセスパラメータを制御できます。TAECHANG TENC-0719はさらに、自家製の入力/出力、イーサネット、USB、 RS-232など、機械部品間の包括的なインターフェースを備えており、このツールは周辺機器と対話することができます。アセットのモジュール設計には、ウェハマッピング、温度および圧力制御、熱輸送、手動/自動ウェハモーション制御など、いくつかの「必須」機能もあります。このモデルには、過渡航行保護、真空および温度センサなどの一連の安全機能、および人員と機器の安全を確保するためのその他のフェイルセーフ機構も装備されています。また、優れた性能と高い歩留まりを維持しながらエネルギー消費量を削減する高度なエネルギーマネジメントシステムを備えています。全体として、TENC-0719は効率的で信頼性の高いウェーハ処理のための最も重要な機能の多くをユーザーに提供します。スケーラビリティ、高性能、安全性を備えたこのユニットは、あらゆるウェーハ処理作業に最適です。
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