中古 SYSTRONICS CL500 #9250602 を販売中

SYSTRONICS CL500は、様々な種類のウェーハを扱う独自のドライウェーハ加工装置です。このシステムは、精密かつ再現性の高いプロセス結果を保証するための高度な処理環境を提供します。これには、洗練された断熱チャンバー、統合コントローラ、強力な真空サブユニット、完全に密閉された作業エリアが含まれます。機械は3つの主要な部品から成っています：熱絶縁の部屋、統合されたコントローラーおよび真空のサブツール。熱隔離の部屋は処理の間に一定した温度を維持するために責任があります。これは、特殊な断熱材と2段の空冷アセットによって実現されます。統合されたコントローラは、環境パラメータを正確に制御し、プロセスタイミングとシーケンスを管理するのに役立ちます。真空サブシステムは、調整可能な真空圧力で信頼性の高い真空環境を保証します。CL500は、高度な不活性ガス技術を活用して、安全で費用対効果の高い処理プラットフォームを提供しています。これには不活性ガス「ドーピング」とクリーンな動作を保証するパージ技術が含まれます。SYSTRONICS CL500の柔軟でモジュラー設計により、必要に応じて追加のワークスペースを追加できます。これにより、処理アプリケーションの特定のニーズに合わせたカスタム構成が可能になります。CL500は、観察窓、熱感知ピロメトリー、高度なプロセスセンサーなど、いくつかのプロセスモニタリング機能を備えています。これらのセンサは、プロセス操作の進行状況を継続的に監視し、作業を調整または終了するタイミングでインジケータを発行します。これは、プロセス結果が正確で再現性のあるものであることを保証するために特に有用です。SYSTRONICS CL500ドライウェーハ加工モデルは、高品質で繰り返し可能な結果を安全かつ費用対効果の高い方法で提供するように設計されています。