中古 SYSTRONICS CL422 #9251778 を販売中

ID: 9251778
ヴィンテージ: 2015
Stencil cleaning system Screen dimension: Maximum: 800 mm x 800 mm SS Support frame and housing Automatic cleaning rinsing and drying Interface with touch screen HERMETIC Cleaning chamber Safety lathing door Cleaning unit via rotating spray arms in a loop circuit Centrifugal pump for cleaning and rinsing Storage tank for cleaning and rinsing Filter on the cleaning loop: 10 μm and 20 μm Eternal pump Convection drying via heated air and connection possibility to the exhaustion Outlet: Ø 160 mm Air exhaust (500 m3/hour) MITSUBISHI FX3G-40M PLC Controller Start up button with light Start up cycle button with light Front circuit breaker Air inlet: 6 Bars Power supply: 400 V 2015 vintage.
SYSTRONICS CL422は、最も要求の厳しい基板製造要件のために設計された最先端のウェーハ加工装置です。このシステムは、最大8インチの直径と最大0。65 mmのCuクラッド厚のウェーハを処理することができます。ウェーハサイズの自動認識や両面の厚み、あらかじめ定義されたマーカーへの正確な位置決めなど、ウェーハハンドリング技術の最新の進歩を特長としています。CL422は、スループットを効果的に2倍にする革新的なデュアルステーション構成を備えています。ステーションは、高品質の結果を生成しながら、ツールをきれいにし、校正することを容易にします。このユニットの高度な基板技術は、スロットアーム、光学認識および位置決め、および精密DCモータを利用しています。これらの技術は、ウェーハコーティング、エッチング、パッシベーティングプロセスにおいて高い精度と再現性を提供します。スマートなオートフォーカス機能により、事前にプログラムされた設定が自動的に調整され、サイクルの各段階で最適なプロセスフォーカスが得られます。これにより、最高品質の結果が保証されます。SYSTRONICS CL422はまた、均一な一貫性を持つ化学混合物を保存し、分配する革新的な化学管理機械を備えています。ツールの直感的なソフトウェアは、手動で介入する必要なく、即座に調整することができます。このアセットにより、ユーザーはクイックスタート処理のための設定を保存およびロードでき、直感的なソフトウェアパッケージを介してデータ閲覧をリモートで行うことができます。CL422はまた、強化された安全性と環境保護を提供しています。センサーとモニターは、潜在的に危険な化学物質へのオペレータの暴露を防ぎ、過剰な材料で環境を潜在的に汚染します。モデルオペレータは、リモートで取り付けられたカメラや他のセンサーでチャンバー内のプロセスを監視することができ、常にプロセスの状態を決定することができます。結論として、SYSTRONICS CL422は最新技術とユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた高度なウェーハ処理装置です。それは高精度、反復可能な結果を提供し、安全および環境保護の高度を保障します。オンボードソフトウェアパッケージと化学管理システムにより、ユーザーは即座にプロセスパラメータを監視および調整できます。このユニットは、基板製造の最高の要件を満たすことにおいて卓越しています。
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