中古 SWAGELOK SWS M100-1 #9076772 を販売中

SWAGELOK SWS M100-1は、最大200mmまでのウェーハを効率的に処理できるように設計された精密自動ウェーハ処理装置です。102x52cmのフットプリントと総重量31kgのSWS M100-1は、既存のクリーンルームのレイアウトに収まるように簡単に構成され、自動生産システムに統合されます。3つの2Dロボットピックとプレイスヘッドを備えており、ウェハトランスファー、カセットマウント、ウェハセンタリング、検査など、各コンポーネントの独立した動作を可能にします。さらに、このユニットには高度なプロセスコントローラが装備されており、さまざまなプロセスパラメータを個別に調整して特定のウェーハ性能要件を満たすことができます。光電センサは、ウェーハを受信またはターゲットに配置したときに検出するために使用され、2つの内蔵赤外線センサーは取り外しまたは配置のための取り付け用カセットまたはウェーハの存在を検出します。カセットまたはウェーハの検出は、適切なロボットヘッドをトリガーしてプロセスステップを進め、さまざまな操作間のシームレスな遷移を可能にします。SWAGELOK SWS M100-1は、サイクルタイムと生産需要に応じて、0。5メートルから30メートル/分までの速度を可能にする可変速度トランスポートを備えています。ロボットアームの最大加速度は6m/s²です。さらに、このマシンは最大70ウェーハ/分のスループットを備えています。SWS M100-1は、実績のある機械部品だけでなく、先進的なモーションコントロールシステムやビジョンコントロールシステムを組み込み、スムーズで正確なウェーハ加工を実現するよう設計されています。ロボットアームは、精密な動きを保証するために特別なレールツールで構成されており、ビジョンアセットには、最高のアライメントとウェーハセンタリングを確保するための広角、高解像度カメラが装備されています。さらに、センサーはIP67定格で密閉されており、ほこりや水の損傷を防ぎます。操作が簡単なエンジニアリングパネルを搭載した使いやすいソフトウェアは、オペレータにパラメーターを設定するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供し、モデルステータスを監視します。装置には、潜在的な問題の容易な識別と解決を容易にするように設計された自動診断システムも装備されています。安全性を考慮して設計されたSWAGELOK SWS M100-1は、ユニットエラーの可聴および視覚アラーム、機械部品の自己診断、プッシュボタンの緊急停止機能、迅速な手動操作のための電子停止ボタンなど、オペレータと環境の安全を保護するためのさまざまな機能を備えています。SWS M100-1は、200mmまでのウェーハの効率的な取り扱いを容易にする高度な自動ウェーハ加工機です。堅牢な機械設計と電子設計を特徴とするこの精密ツールは、精密で信頼性の高いウェーハ処理を可能にするために、さまざまな生産設定で使用するために最適化されています。