中古 STOELTING / TREK / WESTEK Westkleen Formula 2RS3 #197438 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Westkleen Formula 2RS3、しばしばWestKleenと呼ばれるウェーハ加工装置は、高精度で信頼性の高いウェーハ加工装置のメーカーであるTREKによって設計されました。WestKleenは、ウェーハ処理環境で使用する場合に最大のパフォーマンスを提供するように設計されています。このシステムは、高度な光検出技術と固定位置の供給バッチ洗浄プロセスを利用して、1サイクルでウェーハを徹底的に洗浄します。完全な2段階プロセスにより、ますます複雑化する半導体表面構造を洗浄することができます。フロントエンドのオペレータ制御モジュールは、操作と監視のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、プログラミングを簡単かつ効率的にします。WestKleenの固定位置供給バッチ洗浄プロセスは、ウェーハ形状に関係なく、信頼性の高い再現性のあるウェーハ洗浄結果を保証し、化学薬品ディスペンスと洗浄システムを正確に制御します。ケミカルディスペンスツールは、2つの精密メータリングポンプ、2つのディスペンスランス、およびタレットノズルで構成されており、洗浄中に正確な化学注入を提供します。2つの独立した高圧洗浄システムは、溶剤配送と洗浄能力を提供します。また、ウエハの洗浄状態を継続的に測定する独自の光検出モデルも搭載しています。この装置は、各ウェーハが清潔であるかを決定し、追加の化学物質分配または洗浄サイクルが実行された後でも、ウェーハが汚れたままになっているかどうかをオペレータに警告することができます。WestKleenには、高速ウェーハ輸送システムもあります。複数のウェーハを高速で各ステーションに運ぶ8つの管状ウェーハ搬送ベルトを収容しています。トランスポートユニットは、ウェーハあたりの総輸送時間が5秒未満で、最大800条件/時間で動作するように設計されています。WestKleenには、異物を検出するセンサーを含む高度な安全マシンが装備されており、3レベルのセキュリティ保護を提供します。すべての保護カバーが閉じられ、すべての安全センサーが作動しない限り、ツールを操作することはできません。TREK Westkleen Formula 2RS3は、信頼性の高い再現性と正確な洗浄プロセスを提供する革新的なウェーハ処理資産です。ウェーハ処理アプリケーションに最大限の性能と安全性を提供するように設計されています。