中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton #9294937 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Tritonは、最も要求の厳しいウェーハ処理に最適なソリューションです。このハイエンド機器は、パターニングから吸着、脱着まで、最適なウエハー加工のために特別に設計されています。高度に自動化されており、さまざまな高度な制御機能を備えています。TREKトリトンは、プロセス室とクリーンルームの2つの主要なセクションで構成されています。プロセスチャンバーには、ウェーハおよびプロセスコンポーネントを移動するための自動コンベアシステム、ならびに自動ツーリングおよびローディングシステムが含まれています。自動化されたコンベヤーユニットは、さまざまな工具システムや基板サイズに対応するために、連続的および停止動作の両方が可能です。自動化されたツーリングシステムには、UV、レーザー、電気メッキなどがあり、様々なローディングシステムを大規模な生産のために変更することができます。クリーンルームには均一な照明と排気システムが組み合わされており、常にクリーンなウェハ処理環境を実現しています。WESTEK Tritonには、クリーンルームの温度、湿度、粒子数を制御するソフトウェアも装備できます。さらに、STOELTING Tritonは、高度なプロセス監視および計測システムを備えており、ウェーハプロセスのリアルタイム監視を提供します。このマシンは、オペレータが迅速に反応し、ウェーハプロセスを最適化できるように、プロセスに直接フィードバックを提供するように設計されています。このツールはまた、フォトレジスト、ヒ素ガリウム、その他の特殊材料を含む様々なウエハ材料を扱うために高度なロボティクスを利用しています。トリトンは、標準的なウェーハ形状をすべて取り扱うことができ、真空加工、エッチング、誘電装置など、さまざまなプロセスチャンバーで使用することができます。最後に、STOELTING/TREK/WESTEK Tritonは、ウェーハ処理を制御、監視、分析するための高度なソフトウェア資産を提供します。パターニングから吸着、脱着までウエハプロセスを制御することが可能です。基板の分析、プロセス結果の分析、在庫と工具の追跡などに使用できます。全体として、TREK Tritonは、プロセス制御、高度な計測、および高度なロボティクスを提供する高度なウェーハ処理装置です。それは最も要求の厳しいウェーハの処理の条件のための完全な選択です。