中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton #9173227 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Tritonは、高精度および大容量のウェーハ製造タスクを実行するために設計された高性能ウェーハ処理装置です。TREK Tritonは、シリコン、ヒ素ガリウム、その他の薄膜を含む幅広いウエハーの製造に使用できる統合された完全自動化システムです。高速温度サイクリング、超清浄ドライクリーニングが可能です。WESTEK Tritonは、ウェーハ製造業界のさまざまなプロセス用途向けに設計されています。このユニットは、一度に最大6つのウエハを処理することができ、150〜500ミクロンの厚さのウエハを処理することができます。1インチ（25。4mm）、 2インチ（50。8mm）、 3インチ（76。2mm）など、さまざまなウエハサイズと形状に対応しています。また、多段誘導加熱ツールとマルチゾーン温度コントローラを備えています。これにより、異なるウェーハやプレートの温度を個別に制御することができます。STOELTING Tritonは、リソグラフィーコーティング、成形、表面処理、エッチング、研磨など、幅広いプロセスオプションを提供しています。また、ウエハハンドリングの全自動モデルも搭載しており、従来およびロボットのさまざまなハンドリングシステムと互換性があります。これにより、ユーザーは特定のプロセス要件に応じてハンドリング機器をカスタマイズできます。また、Tritonは高度な制御システムを備えており、プロセスの高度な制御と精度をユーザーに提供します。このユニットには、統合された機械制御ソフトウェアとオプションのHuman-Machine Interface （HMI）が含まれています。統合されたマシンコントロールソフトウェアを使用すると、ウェーハ製造レシピとプロファイルを入力および編集でき、生産をリアルタイムで追跡できます。一方、HMIは、ユーザーが直感的な方法でウェーハ製造プロセスを監視し、管理することができます。STOELTING/TREK/WESTEK Tritonは、信頼性が高く効率的であるように設計されており、幅広いウェーハ製造プロセスに信頼性の高いプラットフォームを提供します。これは、ユーザーと機器の両方のための最大のパフォーマンスと安全性を確保するために、高度な機能と安全メカニズムの数で設計されています。また、メンテナンスやトラブルシューティングのための高度なオプションも提供しており、ユーザーはプロセスやマシンの問題を迅速かつ簡単にトラブルシューティングできます。