中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IVは、ウェーハ加工用に設計された高品質の産業用グレードのプロセス機器です。このシステムは、現在の半導体ウェーハ処理のニーズに対応する、完全に自動化されたモジュラー型で柔軟なソリューションです。TREK Triton IVは、化学機械的平面化（CMP）、化学蒸着（CVD）、拡散、エッチング、イオン注入、リソグラフィ、マリニング、計測、プラズマ/真空蒸着、スピンオン誘電体、およびウェーハプロービングに使用できます。また、クリーンルームクラス1までの環境で動作するように設計されており、要求の厳しいプロセスに適しています。WESTEK Triton IVは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用してツールをプログラムし、監視することができ、強力な統合制御マシンを備えています。制御資産はオープンスタンダードで構築されているため、さまざまなソフトウェアパッケージでの使用に適しています。統合された制御モデルは、積極的に管理されたプロセス追跡を使用して、包括的でステップバイステップのプロセスフロー制御を提供します。これにより、プロセス全体でプロセスパラメータが正確に維持され、信頼性が高く再現性の高い結果が得られます。また、この装置は最大5つのプログラム可能なセットポイントを提供し、ユーザーはプロセス結果を最適化するために化学的および物理的なプロセス条件を定義することができます。STOELTING Triton IVは、さまざまな環境およびシステム監視機能を提供します。これには温度制御された環境が含まれ、使用されるレシピの種類に応じて調整できる選択可能なセットポイントが含まれます。また、リアルタイムプロセスモニタリングを利用し、ガスセンシング機能を統合して、ユーザーが使用するアプリケーションに合わせてプロセス条件をカスタマイズできるようにします。さらに、Triton IVには、予期しないプロセスイベントが発生した場合のユーザーの安全を確保するために、アラームシステムや手動オーバーライドなどの複数の安全機能が組み込まれています。このマシンは、200mmから300mmまでの幅広いウエハサイズに対応するように設計されています。フルウェーハ処理用の内部真空マニホールド、または分割ウェーハ処理用の最大12個の個別プロセスモジュールを備えています。このツールは、ロードロック、プリアライナー、ポストアライナーなど、ほとんどの標準的なプロセスチャンバーとも互換性があります。最後に、STOELTING/TREK/WESTEK Triton IVにはさまざまなサービスとサポートパッケージが付属しており、設置、操作、メンテナンス、修理に必要な技術的支援がユーザーに提供されます。