中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #124847 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IVは、半導体ウェーハの高度な研究と生産のために設計されたフル機能のウェーハ処理装置です。自動化された制御と手動制御を組み合わせているため、幅広いウエハサイズ、形状、材料を処理できます。TREK Triton IVは、充電、クリーニング、ロード、アンロードのためのモジュールを含む完全に統合された設計のコンピュータ制御ウェーハ処理ワークステーションです。ウェーハの処理状況を監視し、適切なデータを保存するための高度なデータロギングシステムを備えています。単位は陽極酸化されたステンレス鋼から組み立てられ、ウェーハの滑らかで、信頼できる輸送のための潤滑油なしの、封じられた空気軸受けトラックを含んでいます。WESTEK Triton IVは、幅広いウェーハ充電オプションを備えています。これには、ウェーハを所定の位置に保持するための静電チャックと、2つのフルキャパシタンス放電システムが含まれます。ウェーハを大気中の汚染物質にさらすことなく高速充電できるロードロックチャンバーを備えています。このチャンバーには、クリーンな処理を保証するために、in-situプラズマ洗浄機も含まれています。Triton IVの加熱ツールは、調節可能な温度範囲と速いサーマルサイクリング時間を備えています。高い均一性と正確な温度制御により、幅広いウェーハプロセスを可能にします。また、安全のために統合されたビデオモニターと炎の検出器が含まれています。STOELTING Triton IVは、自動ウェハローディングおよびアンロード機能も提供します。ウェーハを正確に識別、並べ替え、および正確に処理する統合された自動ウェーハトラッキングアセットを備えています。STOELTING/TREK/WESTEK Triton IVのユニークな特徴は、ハンドリング精度を向上させるオプションのウェーハグリッピング機構です。TREK Triton IVは、高度な研究および生産環境に最適な多種多様な機能と機能を提供します。堅牢な構造により、最も過酷なウェーハ要件でも容易に処理できます。