中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9007161 を販売中
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ID: 9007161
SMT system
Stainless steel mesh belt, 18" usable
Upper and lower prewash spray bars from 10 HP heated wash pump
(4) Upper and (4) lower wash spray bars from same 10 HP heated wash pump
Stage 1:
Upper SST Airknife and SST lower Airknife supplied by first 15 HP blower in dry section
Stage 2:
Wet isolation with upper and lower spray bar from 10 HP heated rinse pump
Stage 3:
SST upper Airknife and SST lower Airknife from first 15 HP blower in dry section
(3) Upper and (3) lower spray bars from 10 HP heated rinse pump
Upper and lower final rinse spray from DI supply
15 HP Turbine blower with (2) upper and (1) lower SST Airknives
15 HP Turbine blower with (2) upper and (2) lower SST Airknives
Upper IR heater penel with temperature controller
460 V, 3 phase, 180 A.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MILは、先進的な半導体製造運用に特化した包括的で高性能なウェーハ加工装置です。このシステムは、4軸回転テーブル、最大10個のウェーハのドッキングステーション、ウェーハ表面のオンザスポット検査のための特許取得済みのウェーハ検出技術を備えています。TREK Triton IV MILは、最高の効率とスループットを実現するために設計された最先端の技術を使用して、自動ウェーハ熱処理を提供します。回転テーブルは、ウェーハの回転を可能にし、正確かつ繰り返し加熱を制御します。ドッキングステーションには、ウェーハ温度を継続的に監視し、各サイクルにわたって均一に保つ温度および圧力センサーが装備されています。特許取得済みのウェーハ検出技術には、さまざまなフォトダイオードセンサーと、ウェーハ表面をスキャンして異常を検出する発光ダイオード(LED)が含まれています。このユニットは幅広いカスタマイズオプションで設計されており、ユーザーは特定のニーズや目的に合わせて処理パラメータを微調整できます。これには、ほぼすべてのウェハ建設要件を満たすための材料とガスの包括的な選択が含まれます。WESTEK Triton IV MILの柔軟性により、ユーザーは特定の製品要件に合わせてプロセスを調整できます。Triton IV MILはまた、自動化されたデータ記録、分析、および機械監視機能を提供し、工具の性能と精度に関する貴重な情報を提供します。温度センサと圧力センサからのデータは、プロセス全体にわたって記録され、分析され、達成された温度の均一性とプロセスの任意の相違または分散に関する詳細な情報を提供します。システム監視機能は、資産から常にフィードバックを提供し、最適なパフォーマンスと正確性、そして安心を保証します。STOELTING Triton IV MILは、優れたパフォーマンス、柔軟性、正確性、およびデータ管理機能を提供する、ウェーハ処理システムの最高峰を表します。あらゆる種類のウエハを加工することができるこの包括的なモデルは、高度な半導体製造操作にとって非常に貴重なツールです。
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