中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton I #9205019 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Triton Iウェーハ処理装置は、蓄積されたエネルギーとイーサネット製造、TREKおよびWESTEKによって開発された強力で高度に自動化された技術です。高度なウェーハ処理能力と統合ハンドリングソリューションにより、最高レベルの生産スループットを提供するように設計されています。集積回路、フラットパネルディスプレイ、先進的なデバイス技術の生産のために、最大スループット速度とタイトなプロセス制御を実現するために最適化されています。このシステムには、最先端の柔軟なウェハハンドリング技術が搭載されています。ウエハハンドリングソリューションには、ミニチュアチャックを備えたウエハローディングプラットフォームや、精密なハンドリングを可能にする統合センサーなどがあります。プラットフォームに搭載されたその場の砲塔は、挿入後にウェーハを自動的に識別し、チャンバーに向ける。また、エンコーダベースのユニットを介してリアルタイムのチャンバ位置フィードバックを提供します。このマシンはまた、迅速なアニール、in-situ oxidation-etch-deposition （OED）、 PECVD、ホットウォールAMIを含む幅広いプロセス機能を提供します。50˚cから1200˚cまでの温度で動作可能で、最大6,912の誘電層とドーパントレベルをサポートするプロセス温度が動作中の漏れ電流が低いことを示すことができます。TREK Triton Iには、安全性とエンドポイント監視機能のフルスイートも装備されています。その高度な制御と監視ツールは、ユーザーに最高のプロセス収率を確保するために、すべてのパラメータを完全に制御することができます。これには、多くのカスタマイズされた指標に基づいて温度、圧力、および大気レベルを調整する機能が含まれます。この機能により、ダウンタイムと不良生産の削減も可能になります。WESTEK Triton Iウェーハ処理アセットは、統合されたハンドリングソリューションと高度なウェーハ処理能力により、最高レベルの生産スループットを実現するために設計された強力で完全に自動化された技術です。これは、利用可能な最先端の材料とプロセスを使用して製造され、信頼性の高い効率的な生産ソリューションで最大の収量を確保するために必要なすべてのツールをユーザーに提供するように設計されています。