中古 STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754 を販売中

STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MILは、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）とMEMS/CMOS（複合金属酸化物半導体設計）の両方を含む複雑なデバイス用途に対応するために設計されたウェーハ処理装置です。TREK Triton 221 MILは、フルサイズの8 インチ/200mmまでのウェーハのマスキングとエッチングの両方が可能で、幅広い先進技術開発と生産プロセスの重要な部分です。WESTEK Triton 221 MILは、エンジン、電源、コントローラモジュールを収納するメインキャビネットと、オーダーメイドの真空システムを備えたチャンバーで構成されています。最大200mmまでのウェーハに対応できる大判ロボットローダーを搭載し、可動部品の精度と再現性に優れています。ユニットの制御は、すべての主要なマシン機能に簡単にアクセスできる「直感的な」グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えたPCインターフェイスを介して行われます。このツールには、さまざまな半導体デバイス処理ニーズを容易にするためのさまざまな統合プロセスオプションも含まれています。Triton 221 MILは、リアクティブイオンエッチング（RIE）やディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）など、さまざまなエッチングオプションで優れたパフォーマンスを提供します。これにより、エッチング速度が1ミクロン/分まで高温で高精度（1アングストローム分解能まで）になります。このエッチング処理は、プロセスガスと完全にプログラム可能なバイアス電圧を使用してコンフォーマルエッチングを行い、優れた均一性を持つ複雑な形状のエッチングを可能にします。STOELTING Triton 221 MILと統合されたオプションのマスキングリソースは、MEMSおよびMEMS/CMOS構造の両方のウェーハの効率的なマスキングを可能にするように設計されています。フォトレジスト材料の一貫した適用のためのマーキングツールを正確に整列できる自動整列アセットを備えています。マスキングモデルには、エッチング前に不要なフォトレジストを除去するDVD自動スクレイピング機能も含まれています。STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MILは、シャットオフ状態を検出するさまざまな安全センサーと、設定ポイントを超えた場合に自動的にユニットをシャットオフするチャンバー圧力監視装置を備えた究極の信頼性のために設計されています。システムにはメンテナンスプログラムも含まれており、定期的にアラートメッセージをトリガーしてユニットを正常に動作させることができます。全体として、TREK Triton 221 MILは半導体ウェーハ加工機として優れた選択肢であり、複雑なデバイス用途において正確で信頼性の高いエッチングおよびマスキングプロセスを提供します。このツールは使いやすく、メンテナンスも簡単で、オプションのマスキングリソースにより、MEMS/CMOS開発および生産プロセスに最適です。