中古 SSP FPS-7000 #9256432 を販売中

SSP FPS-7000装置は、大量生産ニーズの効率的で信頼性の高いオンボーディング用に設計されたコンパクトなウェーハ処理システムです。あらゆるクリーンルーム環境に必要なすべてのツールと機能を提供し、モジュール構造により、さまざまな操作に適した汎用性の高いツールとなります。FPS-7000は2つの処理チャンバーと主要なローディング/アンロード領域で構成されています。各チャンバーには、クラス10のクリーンルームに準拠した真空ポンプが装備されており、粒子率が非常に低くなります。チャンバーには、操作用のタッチパッド、リモートコントロールアクセス、およびウェーハの簡単な積み下ろしを可能にするオプションのコンベアベルトも含まれています。SSP FPS-7000は、運動制御と真空制御を組み合わせた統合制御ユニットを搭載しており、ユーザーに精密な制御と柔軟性を提供します。制御機械には、プロセスの効率を高め、エラーを最小限に抑えるためのさまざまなプログラミングオプションが装備されています。このツールは、さまざまなプロセスパラメータや洗浄化学と互換性があるように設計されており、ユーザーは特定の環境やアプリケーションのニーズに合わせて操作をカスタマイズできます。温度制御のために、FPS-7000は完全に統合された管理資産を備えています。このモデルは、空冷と液冷の両方の技術を使用して、プロセスチャンバ内の正確な温度を維持します。また、熱電対装置が内蔵されており、プロセスの変化に迅速に反応し、過熱による酸化や損傷のリスクを最小限に抑えることができます。このシステムには、さまざまなウェーハハンドリングツールが含まれているため、ユーザーは操作に柔軟に対応し、プロセス機能を拡張できます。これらのツールには、ロボットアーム、キャッチャーアーム、ウェハマップ、ウェーハフリッピングステーションなどがあります。全体として、SSP FPS-7000ユニットは、高効率でフレキシブルなウェーハ加工機です。その信頼性とユーザーフレンドリーな機能は、あらゆるクリーンルーム環境に最適なツールです。このツールは、特定のプロセス要件を満たすように簡単にカスタマイズすることもでき、生産ニーズの多彩な汎用性と精度を実現します。