中古 SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306 を販売中

SONOMAXS MH2014D/ FC2025は、集積回路、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、薄膜光学部品の製造用に設計された、多機能、マルチアプリケーション、その他のウェーハ処理装置です。環境汚染を最小限に抑えたシリコン、ヒ素ガリウム、多結晶シリコンウエハの加工が可能です。基板搬送ユニット、基板ハンドラ、メインフレーム、ウェーハキャリア、光学プロジェクション/露光装置などが主な部品です。基板搬送ツールは、ウェーハをロードポートから基板ハンドラに移動するように設計されています。3軸リニアステージを備えており、3次元で正確なシートとウェーハの位置決めを保証します。基板ハンドラは、最大20個のウエハキャリアを保持できます。600rpmまで回転できる回転モーターを搭載しています。さらに、ガイドロッドとシーリングプレートは、ウェーハの正確で安全な取り扱いを保証します。本体はステンレス鋼と硬化合金鋼の組み合わせで作られており、耐久性があります。すべてのアセットコンポーネントを内蔵しており、モデル全体で発生する熱だけでなく、汚染を防ぐように設計されています。ウェーハキャリアは、基板ハンドラからプロセスチャンバ全体に移動する際にウェーハを確実に保持します。ウェーハキャリアは、ウェーハの取り扱いと汚染を最小限に抑えるように設計されています。光投影/露光装置は、フォトリソグラフィ、計測、および電子ビーム露光を行うように設計されています。sCMOS （Scientific Complementary Metal Oxide Semiconductor）カメラと、精密画像処理用の光ファイバーレーザーを使用しています。露出プロセスはスキャン制御ソフトウェアによって正確に制御されます。さらに、光ファイバーレーザーは、精密イメージングのための強力な出力を提供します。最後に、システムはWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを介して動作します。あらかじめ設定されたプロセスレシピと、特定の業界要件を満たすようにカスタマイズおよび編集する機能が含まれています。このユニットはまた、リモートアクセスと制御を可能にし、マシンのプロセスの現在およびリモート監視を可能にします。結論として、MH2014D/ FC2025は、集積回路、マイクロ電気機械システム（MEMS）および薄膜光学部品の生産のために設計された、多機能、マルチアプリケーション、その他のウェーハ処理ツールです。精密なイメージング機能を備えた汎用性の高い資産であり、信頼性の高い動作のための温度および汚染制御モデルであり、幅広い用途に最適なソリューションです。