中古 SONGMAO SM-60120ULH #9315465 を販売中

SONGMAO SM-60120ULHは、産業および研究用途に信頼性の高い効率的な生産を提供するように設計された高性能ウェーハ処理装置です。このシステムは完全に自動化された柔軟なプラットフォームであり、さまざまな形式とサイズの基板材料を処理することができます。このユニットは大きなワークスペースを備えており、生産レートを維持するための優れた基板スループットを提供します。超低積載高さ（ULH）により、基板への応力が低減され、基板品質が向上します。これは、優れた低レベルのノイズと振動分離によってさらに強化され、潜在的な汚染を低減するのに役立ちます。高精度のウェーハ搬送シャーシを搭載し、ワイパーや基板の正確な位置決めとアライメントを可能にします。SM-60120ULHの制御と自動化は、高度なモーションコントロールプラットフォームを使用することによって可能になります。この最先端のプラットフォームは、温度制御、タイミング、モーションコントロールなど、さまざまなモーターパラメータを調整する機能を備えています。さらに、このツールは、さまざまな自動および手動モードで設定および実行することができます。生産のデータ収集と分析は、さまざまなソフトウェアパッケージで行うことができ、ユーザーは処理される各ウェーハの品質を追跡および監視することができます。このアセットは、フォトレジストシステム、エッチングシステム、その他のプロセスツールなど、幅広いプロセスツールで構成できます。さらに、このモデルはEQスクラバー、レジストスピナー、ドライエッチャーと互換性があり、追加の柔軟性を可能にします。SONGMAO SM-60120ULHには微細加工機能が搭載されており、各プロセスレシピの正確なパラメータを制御精度で設定できます。上記の機能に加えて、SM-60120ULHには、運転中の機密領域を保護するための機械シャッター、潜在的な危険性を警告するための光学安全眼など、いくつかの安全装置が装備されています。また、ソフトスタートアップスイッチを備えており、操作上の衝撃を軽減し、緊急時の迅速なシャットダウンを可能にするフェイルセーフスイッチも備えています。全体として、SONGMAO SM-60120ULHは包括的で汎用性の高いウェーハ処理システムです。様々な工具や工程を駆使した幅広い基板加工が可能で、生産データの収集・分析が可能で、高性能な産業用および研究用ウェーハ加工に最適です。