中古 SONEX 300 #9215008 を販売中

SONEX 300は、集積回路の品質向上のために使用される自動ウェーハ処理装置です。高いスループット、高い歩留まり、信頼性の高いプロセス結果を提供できるだけでなく、非常に柔軟です。このシステムは、ロボットローダー/アンローダーと化学処理モジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。ロボットローダー/アンローダーは、一度に最大4つのウェーハを1つのプロセスに移動させることができ、直径3インチまでのウェーハサイズに対応できます。また、ウェーハの取り扱いやスピンチャッキングのための治具や障壁、自動化されたビジョンオプションも含まれています。化学処理モジュールには、ケミカルバス、洗浄剤、エッチングソリューション用の多段処理容器が含まれています。これらの浴槽は、ウェーハ表面からパターン化されたフォトレジストを除去するために使用されるソリューションで満たされています。このユニットは、バッチ操作とインライン操作の両方を実行でき、プロセスの結果をより柔軟に制御できます。さらに、300台のマシンにはクローズドループ制御ツールが装備されており、ウェーハ処理パラメータを正確に制御できます。このアセットには、ウェーハを加工後に乾燥させるために使用されるオプションの温度調整乾燥機も含まれています。このドライヤーは、酸化を低減し、ウェーハ表面の汚染を防ぐのに役立ちます。全体として、SONEX 300ウェーハ処理モデルは、集積回路ウェーハ製造の生産歩留まり、性能、信頼性を向上させるように設計されています。高品質な集積回路の効率的な生産を可能にする先進的な装置です。