中古 SIMCO PC #293647948 を販売中
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SIMCO PCは、スループットを改善し、コストを削減し、他のさまざまなウェーハプロセスアプリケーションでの歩留まりを改善するために設計された包括的なウェーハプロセス機器です。このシステムは、さまざまなアプリケーションタイプとプロセスで簡単に構成できるように設計されたモジュールとコンポーネントで構成されています。本体の主成分は、ガス分配機、サーボモーション制御システム、ウェハハンドリングツールと連動した加工チャンバーです。プロセスチャンバーは、最大50個のウェーハを同時に処理するように設計されています。チャンバーには、高静圧ノズルとUVランプが装備されており、プロセス中に正確な温度と均一な圧力が維持されるようにします。サーボモーションコントロールアセットは、各プロセス工程でウェーハの正確かつ正確な動きを保証します。それは線形、回転式および上昇のサーボモーターから成り、複数のプロセスおよびサイクル時間のためにプログラムすることができます。ガス配分モデルは、均一なガスの流れが処理チャンバー全体に分布することを保証するために使用されます。ウエハハンドリング装置は、処理工程中にウエハーをロードおよび排出するために使用されます。PCシステムには、さまざまなプロセス設定やパラメータを監視、最適化、制御するために使用できる一連のソフトウェアツールも装備されています。ソフトウェアは、ウェーハの処理に影響を与える処理温度、動作圧力、総ガスフロー、およびその他のパラメータの調整を可能にします。また、後のプロセスに保存して再利用できるプロセスレシピの開発と最適化も可能です。全体として、SIMCO PCは効率的で強力なウェーハ処理ユニットであり、コストを削減し、他のさまざまなウェーハプロセスの効率を向上させるように設計されています。それは精密で正確な処理のための高度なコンポーネントとソフトウェアツールが装備されています。このマシンは、さまざまなプロセスに対応した堅牢で構成可能であり、他のさまざまなウェーハ処理タスクにも信頼性が高く効率的なスループットを提供できます。
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