中古 SIMCO CR 2000 #293616117 を販売中

SIMCO CR 2000は、熱酸化物と化学酸化物除去の2つのプロセスを通じてウェーハをインキュベートおよびエッチングするために使用される高度なウェーハ処理装置です。このシステムは、最大のプロセス制御と高スループットを提供し、超精密処理を含むアプリケーションに最適です。CR 2000は、パレット上にウェーハを自動配置し、ロボットアームを介してステーションからステーションに移動するカルーセル技術を備えています。この機械は、温度制御された水晶チューブを備えており、これは熱酸化物エッチングに使用されます。この機械は安定した温度を維持することによって酸化をきれいにする機能があり、酸化剤の間の望ましくない反作用を防ぎます。SIMCO CR 2000の化学酸化物除去ユニットは、高度な入浴環境を利用して、ウェーハの清潔性と安全な処理を保証します。高級界面活性剤を使用して有機物や非有機汚染物質を除去し、腐食性の損傷を防ぎます。また、浴槽内で発生する発煙や排出物の効果的な取り扱いを監視・管理することができ、安全な作業環境を提供します。また、このマシンは高度なデータ収集（DAQ）モジュールを備えており、プロセス内の各ステップのプロセスデータを自動的にキャプチャすることができます。このDAQツールは、圧力、温度、入浴濃度などのパラメータを保存、表示、分析することができます。このデータは、予測保守およびプロセス最適化に使用できます。最後に、CR 2000は、最適化された信頼性を提供する簡素化された設計も備えています。スピンドルレイアウトは、振動を低減し、振動を最小限に抑えるために使用され、より高いウェーハスループットを実現します。高度に自動化されたプロセス制御資産は、高速で一貫した均一なエッチングを提供し、人件費を削減し、生産性を向上させます。