中古 SIMCO Aerostat XC #9395465 を販売中

SIMCO Aerostat XCは、さまざまなアプリケーション向けに設計された多機能の自動ウェーハ処理装置です。精密な再現性、高速性、幅広いウエハサイズを兼ね備えています。基板加工、デバイス形成、化学機械研磨（CMP）、無電解金属、化学蒸着（CVD）、スパッタリングなど、さまざまな複雑な作業が可能です。Aerostat XCは、精密な再現性と幅広いウェーハサイズに対応できる多目的ウェーハ加工ユニットです。この機械は高度に自動化されており、統合されたプロセスモジュールと排水収集システムを備えています。さらに、このツールには高度なソフトウェアパッケージが組み込まれており、操作を簡素化し、プロセス管理を自動化して生産性を向上させます。SIMCOエアロスタットXCアセットは、高効率温度制御装置とともに、独自の均一な加熱モデルを採用しています。これにより、再現性と均一なプロセス条件が最大限に確保され、プロセス収率が向上します。さらに、Aerostat XCシステムはデジタルウェーハトラッキングユニットを使用しており、一貫した反復可能な結果を保証します。SIMCO Aerostat XCマシンには、高効率の自動化化学物質デリバリーシステムが装備されており、そのうちの主なオプションは、ケミカルデリバリーロボットとケミカルテーブルシステムです。ケミカルテーブルシステムは、ケミカルデリバリーに経済的なソリューションを提供し、シングルユース容器を使用して最高の純度基準を維持します。さらに、自動化化ケミカルデリバリーロボティクスは、信頼性と再現性の高いプロセスを保証し、生産性を向上させます。Aerostat XCツールは、ウェーハハンドオフ、デバイス形成のための2つの部品および一時的なボンダ、および薄膜成膜のためのさまざまな技術との統合機能も提供します。このアセットには、高度な非接触プロセスセンサーと3軸ウェーハハンドリングモデルが搭載されており、熱的および機械的に関連する変形を修正できます。SIMCOエアロスタットXC装置は、表面処理、デバイス構造形成、化学機械研磨、無電解金属、化学蒸着、スパッタリングなど、幅広い用途に最適です。最高の品質とスループットを競争力のあるコストで提供する包括的なソリューションを提供します。このシステムは、さまざまなウェーハ処理アプリケーション向けの効率的で柔軟かつ信頼性の高いソリューションです。