中古 SIMCO Aerostat XC #9283565 を販売中

SIMCOエアロスタットXCは、幅広い用途に適した強力で汎用性の高いウェーハ加工装置です。エアロスタットXCは、ウェーハの品質と生産歩留まりを均一にするために、サーマルサイクルの開始から終了まで、ウェーハ処理の完全なサーマルサイクル制御を提供するマルチタンクシステムです。ユニットには複数のタンクが装備されており、それぞれが温度、圧力、大気の正確な制御を可能にします。SIMCO Aerostat XCは、幅広い高度な機能を備えており、超低流量および高質量フラックス熱流量、高度な流体シミュレーション機能など、卓越した性能を提供します。エアロスタットXCの設計により、高精度のウェーハ加工が可能です。機械は各処理タンク内の温度、圧力、および大気を正確に制御するために使用されるデジタル比例弁が装備されています。比例バルブは、動作の全温度範囲にわたって安定した温度/圧力関係を維持することができます。さらに、SIMCO Aerostat XCは、各プロセスのタイミングシーケンスを最適化する自動制御ツールを備えています。Aerostat XCはまた、プロセス・サイクルの過程で基板の熱プロファイルを正確に制御することを可能にする、さまざまな高度な熱シミュレーション機能を備えています。熱シミュレーション機能により、SIMCO Aerostat XCは、熱分布、温度均一性、温度勾配などのプロセス性能に最大の影響を与える特定のウエハの属性を予測できます。これにより、アセットはウェーハの品質を最適化するパラメータを正確に制御できます。XYZ Integrated Systemsは、高度なダイナミックバランスアルゴリズムの実装により、Aerostat XCのパフォーマンスをさらに向上させました。ダイナミックバランスアルゴリズムにより、SIMCO Aerostat XCは、非常に動的な温度変化中でも、必要な温度の均一性を自動的に維持できます。これにより、サイクル時間が短縮され、パフォーマンスが向上し、基板全体にわたって均一な熱分布が保証されます。Aerostat XCは、ウェーハ処理アプリケーションに最適なツールです。強力な機能と高度な機能を備えたSIMCO Aerostat XCは、効率的で高品質のウェーハ処理に不可欠なソリューションです。