中古 SIMCO Aerostat XC #9166342 を販売中

SIMCO Aerostat XCは、精密な非接触成膜コーティング、洗浄、研磨を提供する高度なウェーハ加工装置です。このシステムは、特許取得済みの複合ノズル技術を使用して、ウェーハやその他の基板表面上のコーティングの体積、厚さ、均一性を正確に制御します。統合された加熱マニホールド設計により、コーティングの均一な接着と接着が保証されます。また、エアアシスト機能は、ウェハまたは基板表面全体にわたって高精度の蒸着と均一性を提供します。このユニットは、高性能の真空およびデュアルチャネル流体供給機を備えた大型の加熱マニホールドを備えており、不揮発性溶媒やダマスケンプロセスを含む幅広い材料を効果的に分配します。Aerostat XCの非常に正確で反復可能で柔軟性のある6軸ロボットアームは、精密コーティングと洗浄の過程で基板またはウェーハの一貫した正確な動きを提供します。また、加工前後のウエハ検査用のフルフィールドHDカメラツールを20倍にしています。アセットにはさらに温度制御とモニターが装備されており、指定されたセットポイントで安全かつ一貫した動作を保証します。オプションのコンディショニングモデルは、長期的な精密制御と信頼性の高いパフォーマンスを支援します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、プロセス条件の簡単なロードと監視が可能になり、オプションのテレメトリ機能により、主要な機器パラメータを遠隔監視できます。SIMCO Aerostat XCは、優れた精度と再現性を備えた成膜コーティング、洗浄、研磨が可能な高度で高精度なウェーハ加工システムです。組み合わせたノズル技術、大きな加熱マニホールド、強力なロボットアームを備えたXCは、ウェーハまたは基板表面全体に均一な材料蒸着とコーティングで一貫した性能を提供します。また、内蔵の20x フルフィールドHDカメラユニットを使用して、処理前後のウェーハ表面を検査し、オプションのテレメトリー機能により機械性能を遠隔監視できます。