中古 SIMCO Aerostat XC #9006700 を販売中

SIMCOエアロスタットXCは、最高のプロセス柔軟性と品質管理のための最高基準で設計されたウェーハ処理装置です。このシステムは、半導体メーカーと研究施設の両方から、さまざまな独自のプロセスを実行するために使用されます。Aerostat XCは、酸化物、窒化物などの材料のPECVD成膜、および幅広いフィルムのエッチングのために構成することができる自動真空およびプラズマ処理ユニットです。正確にバランスの取れた真空環境とガス環境を備え、粒子発生を最小限に抑え、クリーンな処理環境を提供します。ウェーハ表面全体にプラズマの高い均一性を提供するように設計された高圧プラズマ源を搭載しています。このツールには、チャンバごとに最大4つの独立したRF電源を独立して制御する機能など、さまざまなプロセス監視およびチャンバ診断機能も装備されています。これにより、ユーザーは複数の周波数でアセットを操作してプロセスの均一性を向上させ、最適化することができます。SIMCO Aerostat XCは、プロセス制御に最大限の柔軟性を提供します。リアルタイムプロセス監視機能を備えており、処理条件を調整して最大のパフォーマンスを実現します。さらに、このモデルは他のCAD/CAMソフトウェアと統合して、より高度なデータ収集と制御機能を提供するように設計されています。エアロスタットXCも最大限の安全性を確保するために設計されています。このチャンバーは、潜在的に有害なプラズマ条件を処理するために構築されており、同封されたグローブボックスは、HEPAフィルターと二重エアロック装置を使用して、汚染物質を最大限に保護しています。さらに、すべてのチャンバーコンポーネントとプロセスソフトウェアは、厳しい安全基準を満たすように設計されています。最後に、SIMCO Aerostat XCは優れた性能と信頼性のために設計されています。このシステムは、最高品質のコンポーネントとエンジニアリング規格で構築されており、最も効率的で再現性の高いプロセス性能と結果を提供します。さらに、このユニットは、インスタントサービスのエスカレーションのための専用のサービス技術者を含む献身的なサービスとサポートチームによってサポートされています。その結果、Aerostat XCはウェーハ処理のための汎用性、信頼性、高品質のツールです。