中古 SIMCO Aerostat PC #9329105 を販売中

SIMCOエアロスタットPCは、株式会社SIMCOが設計・設計したウェーハ加工装置です。このシステムは、デュアルエッチング、プラズマエッチング、リソグラフィなどのプロセス開発作業用に特別に設計されています。エアロスタットPCには、プロセスからプロセスへの迅速なセットアップと切り替えを可能にする4段階のプロセスチャンバーが装備されています。チャンバーはまた、短い深さのプロセスチャンバー壁と容易なアクセスとメンテナンスのための取り外し可能なトップアセンブリとオープンデザインを備えています。これにより、他のウェーハ処理システムよりも迅速で簡単なインストールとメンテナンスが可能になります。SIMCO Aerostat PCは、あらゆるアプリケーションに適した柔軟性のあるさまざまなプロセス制御オプションも提供しています。これらの機能には、自動ガス混合、圧力制御、レシピハンドリング、さまざまな計測オプションを備えたレーザーアライメントが含まれます。また、プロセスプログラム、自動安全インターロック、およびプロセスエラーによるダウンタイムを最小限に抑える統合診断機能を幅広く提供しています。最高レベルのプロセス精度と再現性を提供するために、Aerostat PCには上流および下流のプロセス監視機能が搭載されています。圧力、温度、ガス流量、蒸着速度など、すべての重要なウェーハ処理パラメータが含まれています。この高度な監視ユニットは、プロセスを制御するだけでなく、品質管理と精度を確保するために監視します。これらのパラメータはリアルタイムで表示でき、最適な処理結果を確保するためにプロセスレシピを即座に調整するために使用できます。SIMCO Aerostat PCは、信頼性の高い効率的なウェハレベルの処理環境を提供するように設計されています。ロボットツーリングや自動バッチングなどの高度なオートメーション技術を取り入れ、ウェーハ処理サイクルを高速化し、生産コストを削減し、機械の操作を簡素化します。すべてのプロセスレシピはツールに搭載されており、熟練した人材がなくても何百ものプロセスウェーハを生産できます。さらに、この資産はネットワーク対応であり、他のタイプの機器と統合することができます。Aerostat PCを使用する利点は数多くあります。正確なプロセス制御を提供し、貴重なウェーハ投資を保護し、ダウンタイムを最小限に抑え、プロセス開発と生産に関連するコストを大幅に削減します。さらに、高度なモニタリング機能により、高品質の出力を保証し、直感的な設計により、安全で効率的で費用対効果の高いウェハレベルの処理モデルを提供します。