中古 SIMCO Aerostat PC #9153085 を販売中

SIMCO Aerostat PCは、アスペクト比の高いマイクロストラクチャーを製造するために特別に設計された最先端のウェーハ処理装置です。ウェーハの温度、ウェーハ速度、プラズマ密度、および電磁界などのプロセス変数を制御し、ウェーハ処理の最良の結果を保証するための高度で自己完結型のクローズドループ・システムを備えています。本体のコアは100 x 100 mm （4 「x4」）プラズマチャンバーで、ウェハの片側と両側の両方の広いエッチングが可能です。アンダーエッチングやオーバーエッチング、指向性エッチング、等方性エッチングなどの高度なエッチング技術に適しています。表面処理、偏差のないマスクアライメント、および高度な表面処理を備えた高度なパターニングモジュールにより、その精度がさらに向上します。Aerostat PCはまた、ウェーハ処理をより簡単かつ効率的にするユニークな利点の数を提供しています。その高効率のin-situパージングツールは、高いプラズマ品質を維持し、粒子状汚染の可能性を最小限に抑えます。さらに、そのインテリジェント制御は、自動的にワークの位置を再調整することができるため、全体的な精度と生産性が向上します。資産も非常にユーザーフレンドリーです。その大きなLCDタッチスクリーンディスプレイは、ウェーハエッチング処理の簡単な操作と監視を可能にします。さらに、SIMCO Aerostat PCは安全で簡単な操作のために設計されています。電気保護の認定を受けており、自動化された圧力解放モデルを備えています。全体として、Aerostat PCは信頼性が高く、機能が豊富で、エネルギー効率が高い堅牢なウェーハ処理装置です。航空宇宙から半導体までの業界に最適で、高品質の微細構造を処理する優れたプラットフォームを提供します。