中古 SHIBAURA / TOKUDA KP4500BG #9386798 を販売中

SHIBAURA/TOKUDA KP4500BGは、ウェーハのプレート、成膜、ミル、エッチング、検査に使用される汎用性の高いウェーハ加工装置です。精密で正確な光学ウェーハアライメントシステムと、加工チャンバ内に8つの基板を収容できる手動負荷/アンロードユニットを備えています。この機械は、優れた精度と高い再現性で基板に材料を堆積することができます。これは、プラズマ蒸着ヘッド、スパッタリングヘッド、または他の専門ヘッドなど、さまざまな蒸着ヘッドを使用することによって可能になります。それぞれ異なった目的のために設計され、高精度の材料そして厚さの広い範囲を沈殿させる機能があります。TOKUDA KP4500BGは、エッチング材を多数使用した均一なエッチング厚を実現する、精度の高いエッチング加工が可能です。これは、処理されるウェーハの個々のニーズに合わせてエッチングプロセスパラメータをオーダーメイドすることによって行われます。また、フライス加工も可能で、ウェハ表面から材料を正確に除去することができます。これは、異なるウェーハ材料や厚さに対応するために調整可能な電動フライス盤を使用して行われます。このアセットは、あらゆる加工フェーズで高精度を保証する高度な光学アライメントプロセスを備えています。これは高解像度で動作するように設計されており、アライメントエラーを自動的に認識して修正することができます。また、アライメントとポジショニングにかかる時間を最小限に抑え、より効率的なワークフローを実現するように設計されています。最後に、モデルは、任意のエラーや欠陥のためのウェーハの検査を実行することができます。これは、理想的な仕様から最小の異常や偏差を検出することができる高分解能の光学顕微鏡を使用して行われます。全体として、SHIBAURA KP4500BGは、プロセスのあらゆる面で精度と精度を確保するために設計された多数の機能を備えた先進的なウェーハ加工装置です。高い再現性と精度で幅広いウエハの堆積、フライス加工、エッチング、検査が可能で、あらゆる半導体業界の信頼できるパートナーです。