中古 SHENZHEN Octopus 8CX #9396096 を販売中

深センのタコの8CXは広範囲の適用のための特徴の範囲を提供する広範囲のウエファーの処理装置です。その強力な機能は、半導体製造、研究開発に最適です。オールインワンシステムには、8ポートのロボットウェーハハンドラ、熱制御チャンバー、自動ローディング/アンロード、および統合計測ユニットが含まれています。このハードウェアの組み合わせは、ハイエンド半導体ウェーハの製造に関する包括的なソリューションを提供します。8ポートのロボットウェハハンドラは、効率的で正確なウェハローディング、アンロード、およびプロセスの複数の段階間のロードを提供する、マシンの中心です。8個の個別駆動モーターが正確な移動と位置決めを提供し、さまざまなセンサーが任意の位置ずれを検出します。工具の主なチャンバーは、一貫した正確なプロセス環境を提供するために熱制御されています。プローブアレイは、処理が不可能なウェーハの領域を特定したり、ポリカーボンベースのウェーハを使用した場合に、処理対象とならない事前に生成されたパッチのある領域を特定します。チャンバーには600°Cまでの温度が装備されており、暖房および冷却アセットが内蔵されています。Octopusの自動ローディングとアンロード機能8CX、ウェーハのローディングとアンロードの両方が迅速かつ効率的であることを確認します。標準のFOUPフォーマットと互換性があり、一度に2つのFOUPを処理でき、上部と前面からディスクを受け付けます。シンセンのタコの8CXの大きい利点は統合された計量学モデルです。これにより、処理中および処理後にウェーハ表面を監視することができ、プロセスが一貫して正確かつ正確であることを保証します。5 μ mまでのピクセルサイズ精度でウェーハ表面の高精度な画像が得られます。要するに、Octopus 8CXは高度なウェーハ処理システムであり、優れたプロセス効率、精度、信頼性、および詳細な計測機能を提供します。自動ローディング/アンロード機能、精密な7軸ロボットウェーハハンドラ、熱制御チャンバーにより、半導体製造や研究開発に最適です。