中古 SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400 #9211636 を販売中

SEPARATION TECHNOLOGISTS AQ 400は、幅広い用途向けに設計された先進的なウェーハ加工装置です。基板と加工品の製造、取り扱い、分離を行う専用システムです。12インチウェーハなどの大型基板や6インチウェーハなどの小型基板など、さまざまな基板サイズの加工が可能です。AQ400は、いくつかの特許取得済みの技術とプロセスを使用して、基板の整合性に影響を与えることなく、高いスループット、精度の分離を実現します。従来の高精度制御・多方向・低摩擦光学分離ユニットを用いて、大型基板と小型基板を同時に分離できるように設計されたBeakey-Tangen機構を改良した高度な分離技術を採用しています。このマシンは、ウェーハ表面の正確かつ正確なアライメントと、自動化された再現可能なプロセスサイクルを可能にします。最高の品質を確保するために、セパレーションテクノロジストAQ 400は、一連の回転ブラシと高圧エアジェットを使用してプロセス領域から粒子汚染を除去する自動洗浄ツールで設計されています。また、一連のカメラやディスプレイを駆使して各基板を検査する精密外観検査モデルを搭載しています。これにより、基板内の欠陥を特定し、処理前に除去することができます。一貫した信頼性の高い分離性能を確保するために、AQ 400には高度なプロセス制御システムが付属しています。これには、プロセス全体にわたって均一な温度を維持するプロセス層温度制御装置と、不規則性や問題に対する基板特性を常に監視するプロセスモニタシステムが含まれます。さらに、ウェーハや基板を1つの工程ゾーンから次の工程に移す高精度なマテリアルハンドリングマシンで設計されています。全体的に、分離技術者AQ 400は汎用性の高い高精度のウェーハ処理および加工ツールです。高度な分離およびプロセス制御システムは、信頼性と正確な性能を提供します。また、オプションのマテリアルハンドリング機能により、大面積の基板を容易に処理できます。これにより、製造から研究開発まで、さまざまな用途に理想的な資産となります。