中古 SEDECO Vl-1522 #9093784 を販売中

SEDECO Vl-1522は、高度な半導体デバイス製造用に設計された専用のターンキーウェーハ処理装置で、最大の生産性と最適な結果を同時に提供します。Vl-1522のモジュラーアーキテクチャは、シンプルなプロセスから複雑なプロセスまで、ユーザーの要求に応えるために最大限の柔軟性を提供します。200mmプロセステーブルに200mmウェーハ処理機能を搭載し、各種ウェーハ処理に対応した幅広いウェーハキャリアを提供し、あらゆる用途に最適です。SEDECO Vl-1522は、高性能ウェーハマニピュレータ、ロボットアーム、およびデュアル真空ウェーハ転送ユニットの統合により、非常に高いスループットを提供します。このマシンは、ユーザーのニーズに応じて、最大4つのメッキプロセスタンクまたはプロセスモジュールを管理することもできます。Vl-1522が使用する高度なプロセス制御技術は、トータルプロセス時間を最小限に抑え、優れた均一性と歩留まりを提供することができます。SEDECO Vl-1522は、信頼性が高く再現性の高いプロセスソリューションです。高度なウェハレベルの温度制御ツールは、0。1°Cの精度で極めて正確なプロセス制御と環境管理を提供します。このアセットは、金属、酸化物、ポリマー、およびその他の材料の急速な熱アニーリング、拡散、酸化などのさまざまなプロセスに適しています。Vl-1522のウェハロードロックは、超クリーンな環境を提供し、1。33 mbarのバックグラウンド圧力を維持します。また、0。5°Cの精度を持つマルチゾーン温度制御も含まれています。これは、デバイスの製造とデバイス性能の高い標準にとって重要です。SEDECO Vl-1522は、大量アプリケーション向けの効率的で費用対効果の高いソリューションです。統合されたセンサー、オートメーション、および診断機能により、ダウンタイムを削減し、生産効率を向上させます。直感的でユーザーフレンドリーなSEDECOソフトウェアは、モデルパラメータを完全に制御し、特定のアプリケーション要件に合わせてプロセスをカスタマイズできます。また、お客様のニーズに合わせて、将来の用途に合わせて容易にアップグレードすることができます。