中古 SC FLUIDS MEMS Dryer #141020 を販売中

SC FLUIDS MEMS Dryerは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）製造に使用するために設計された最先端のウェーハ処理装置です。このドライヤーは、SC Fluidic Technolgyの特許取得済みの加熱蒸気技術を使用してMEMS製造を乾燥させます。このシステムは、乾燥時の熱予算が非常に低く、優れた均一性を誇っています。MEMSウェーハの多孔質層の最も効率的で正確な乾燥のために設計されています。MEMS Dryerは、直径200〜400mmのさまざまなウエハサイズを加工できる、完全密閉型のバッチ処理ユニットです。機械はきれいな、細菌なしの仕事環境を提供します。また、最大100°Cの温度で650 mbarまでの圧力を保持できる真空ツールを備えています。加熱された蒸気技術は水分子を蒸発させ、ウェーハ表面が乾燥したままになり、残留水分がなくなります。このアセットには、自動化された制御とアラームも備えており、シームレスな自動化とプロセス制御が可能です。PLCコントローラを介して、オペレータは乾燥プロセスの温度、圧力、および時間を正確に制御できます。ユーザーフレンドリーなコントロールと使いやすいソフトウェアにより、モデルの操作とメンテナンスが簡単になります。SC FLUIDS MEMSドライヤーは、ハイスループット生産に最適です。最大速度は800ウェーハ/時間で、自動プログラムにより正確な乾燥パラメータが保証されます。予期せぬ事態が発生した場合の緊急停止のための安全スイッチも付属しています。MEMSドライヤーは、市場で最も先進的なウェーハ処理システムの1つです。優れた精度、効率、安全対策を提供します。また、安定性、再現性、柔軟性に優れています。このシステムは、正確で信頼性の高い乾燥を必要とするMEMS製造に最適です。