中古 SATISLOH PRA #293778135 を販売中

SATISLOH PRAは、信頼性の高い効率的なウェーハ処理結果を提供する自動ウェーハ処理装置です。専用の多機能機能を備えており、複数の機能を同時に実行することができます。また、ウェーハの高収率を実現することができ、用途に応じて様々な結果を得ることができます。PRAの主なコンポーネントは、ウェーハローダー、ディスペンサー、ウェーハストリップステーションなどのフロントエンドツールのセットです。各工具には特別な目的があり、サーボロボットアームによって機械に取り付けられています。最初のツールであるローダーは、ウェーハストリップのプラットフォームにウェーハを安全に配置するために使用されます。ウェーハストリップステーションは、ウェーハディスペンサーにウェーハを供給し、薄膜材料を分配し、ウェーハの表面に均等に広がるようにウェーハを移動させます。次の段階は、ツールのコア、そのプロセッサを含みます。プロセッサは、プロセッサの周りに配置されている複数のディスクリートマシンで構成されています。これらには、データ収集および処理ユニット、化学ディストリビューター、温度制御ユニット、流量モニタ、および放出アセンブリが含まれます。データ収集および処理ユニットは、ウェーハ処理レシピを処理します。ケミカルディストリビューターは、化学物質の流量と温度を処理します。温度制御ユニットは、ウェーハが均等に加熱されることを保証し、流量モニターは、化学的流量の速度を監視します。最後に、放出アセンブリは処理されたウェーハを取り除き、コレクションの出口に送ります。SATISLOH PRAはまた、正確なウェーハ処理結果を保証するための自動補正アセットを備えています。所定の基準を満たさないウェーハは、ウェーハローダーに送り返されます。ウェーハローダーは、リサイクルされたウェーハをロードし、修正のためにプロセッサに供給します。このモデルは、正確な結果、改善された歩留まり、および最小限の拒否数を保証します。最後に、PRA機器は、さまざまなコマンドとパラメータで制御することができます。Webベースのインターフェイスを介して、オペレータは中央プロセッサにアクセスし、システムを手動で制御できます。処理レシピの設定と変更、ユニットのパフォーマンスの監視、パラメータの制御が可能です。また、このインターフェイスは、現在の温度、流量レベル、ウェーハ除去の進行状況など、マシンのステータスの詳細な概要も提供します。SATISLOH PRAは、複数のウェーハを同時に処理できる自動ウェーハ処理ツールです。その機能により、正確で正確な結果を得ることができます。この資産は、Webベースのインターフェースのおかげで、簡単にアクセスでき、オペレータフレンドリーです。機能と性能特性を兼ね備えたPRAは、ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。