中古 SATISLOH Blocker #9218531 を販売中

SATISLOH Blockerは、スループットと精度が最も重要なアプリケーション向けに設計された高度なウェーハ処理装置です。このシステムは、処理室、ローディングステーション、アンロードステーション、制御ユニット、補助ガス処理機など、いくつかの相互接続されたコンポーネントで構成されています。処理チャンバ（通常は流れるガスまたは真空チャンバー）は、ブロッカーの最大のコンポーネントであり、ウェーハ処理を行うために使用されます。チャンバー内では、ウェーハ材料を所望の温度に加熱し、必要なガスと化学物質のカスタム混合物にさらされ、すべてが資産のすべての操作を監督する制御ツールによって制御されます。加熱されたウェーハ材料は急速に冷却され、再び冷却され、反応室は不活性ガスで洗い流されて反応が完了することを保証します。ローディングステーションは、加工されていないウェーハ材料がモデルに供給される場所です。特定の指示でプログラムされたロボティクスアームは、ウェーハ材料を配置して、処理室に効率的にロードできるようにします。処理されたウェーハ材料を除去するために、アンロードステーションが設置されています。また、ロボティクスアームを使用して、加工された各ウェハを正確にアンロードすることができます。制御装置はシステムの頭脳であり、さまざまなコンポーネントを接続し、ユニットの操作を監督する責任があります。機械のサイズや種類によって異なるタイプの制御システムが使用されますが、それらはすべてツールのコンポーネントを監視し、各ステップが正しい順序で実行されることを確認します。補助ガス処理資産は、反応室で使用される混合ガスの品質を維持するために使用され、特に混合物の流れ、純度、および組成を制御します。要約すると、SATISLOH Blockerは、スループットと精度が最も重要なアプリケーション向けに特別に設計された高度なウェーハ処理モデルです。装置は、プロセス全体でガスの正しい組み合わせを監視し、確実に使用するために、処理室、ローディングステーション、アンローディングステーション、制御システム、および補助ガス処理ユニットなど、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。ブロッカーは半導体製造から食品加工まで、さまざまな業界で使用されており、その革新的な設計により、市場で最も信頼性が高く効率的なシステムの1つです。