中古 SATISLOH Blocker PRA #9302745 を販売中
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SATISLOH Blocker PRAは、SATISLOHが開発した、さまざまな先進的な生産オートメーション技術を搭載したウェーハ加工装置です。基板コーティングやドーピングから機械研磨、ウェットエッチング、エッチング、化学機械研磨、ウェットエッチングなど、さまざまなウェハ加工工程に至るまで、ウェハ製造プロセス全体を効率的に管理するソリューションを提供しています。このシステムの中核となる機能は、自動ローディングとアンロードのプロセスであり、ユニットのさまざまな処理モジュール間で迅速かつ効率的にウェーハを転送することができます。これにより、ダウンタイムを削減し、ウェーハ生産の高スループットを可能にします。Blocker PRAには、生産ラインに沿って各ウェーハの位置を追跡し、最高品質を保証する洗練されたセンサマシンも含まれています。このツールは、さまざまなウェーハ処理タスクのために最大1万レシピを保存する機能を備えています。この資産は、既存の生産ラインに簡単に統合できるモジュラー設計から利益を得ています。さまざまな制御技術を使用して、ウェーハ洗浄、機械研磨/化学研磨、エッチング、平面度測定、検査など、さまざまなプロセスをサポートします。また、生産記録、データレポート、プロセスのトレーサビリティを保存する能力も備えています。また、高度な可視化機能も実現しています。グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用することで、オペレータはユニットのさまざまなパラメータやその他のプロパティを監視、制御、および調整できます。GUIにより、さまざまなウェーハ処理タスクのためのさまざまなレシピを簡単に設定できます。最後に、SATISLOH Blocker PRAは安全性を念頭に設計されており、自動停止や緊急停止などのさまざまな安全機能を備えています。さらに、最も敏感な生産作業のために、このマシンには、安全性を確保するための光学絶縁監視ツールも含まれています。結論として、Blocker PRAは効率的なウェーハ処理のための近代的で信頼性の高いソリューションを提供します。柔軟な設計と高度な自動化プロセスにより、生産のダウンタイムを削減し、高品質を保証します。さらに、その安全機能と広範なデータストレージ容量により、小規模および大規模生産アプリケーションに最適です。
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