中古 SATISLOH ART Blocker A #293828554 を販売中

SATISLOH ART Blocker Aは、高いスループット、正確かつ信頼性の高い結果を提供するように設計された、他の先進的なウェーハ処理装置です。このシステムには、3次元マシンビジョン技術を活用した不規則な形状のウエハを検出し、連続的に追跡する「トラッキングユニット」が特許取得されています。トンネリングエラーを排除しながら、ウェーハの検出、ロギング、位置決めを低コストで行うことができます。トラッキングマシンは、フォトレジストディスペンシング、テープディスペンシング、コーティング、屈折率測定、ウェーハ厚さ測定、ウェーハクリーニングなど、さまざまな処理段階の間でウェーハを移動することができます。このツールには、フォトレジストをウェーハに高精度に分配する静電アクチュエータが装備されています。アクチュエータは、150ナノメートルの最小液滴サイズのフォトレジストを正確に配置することができます。さらに、アセットの可変光学フィード喉は、フォトレジスト分配プロセスのスループットを高め、より正確で効率的な結果を得ることができます。このモデルには、特許取得済みのフレキシブルドライブ装置が搭載されており、正確なテープディスペンスが可能です。テープディスペンシングノズルとウェーハ間の間隔を自動的に制御することができ、効率的かつ正確な結果を得ることができます。さらに、3つの独立した軸の動きを備えているため、ウェーハの精密で柔軟なコーティングが可能です。精度と生産性を確保するために、このマシンにはオートフォーカス屈折率測定ツールも装備されています。このアセットは、加工されたウェーハ表面の屈折率を測定することができ、正確な結果を提供することができます。また、ウェーハの厚さを正確に測定するためのX線技術を活用したウェーハ厚さ測定ツールを搭載しています。最後に、揮発性有機化合物や粒子などの表面汚染を除去できるウェーハクリーニングシステムを搭載しています。このウェーハクリーニングユニットは、スプレーノズルとブラシで構成され、あらゆる種類のウェーハ表面クリーニングに最適化された効率的なクリーニングプロセスを提供することができます。結論として、ART Blocker Aは、精密で信頼性の高い、高スループットの結果を提供するように設計された、他の先進的なウェーハ処理機です。このツールは、特許取得済みのトラッキング資産、静電アクチュエータ、可変光学フィードスロート、フレキシブルドライブモデル、オートフォーカス屈折率測定装置、ウェーハ厚さ測定ツール、およびウェーハクリーニングシステムを組み合わせて、ユニットを効率的かつ正確な結果のための優れた選択肢にします。