中古 SARTORIUS TOWER QRJ #9215490 を販売中

SARTORIUS TOWER QRJは、高精度および超小型半導体のマルチレベルアセンブリ、テスト、パッケージング用に特別に設計された高度な自動ウェーハ処理装置です。半導体製造ラインで使用される高スループットシステムに最適なソリューションです。TOWER QRJは、複数の先進技術を活用して最大限のパフォーマンスを実現しています。半トンモジュラータワーまたはコンパクトなシングルフレームシステムのオプションを備えたモジュラー設計で、さまざまなプロセスサイズに対応しています。また、処理中のウエハ精度を保証する高精度の立体（3D）ビジョン技術も搭載しています。SARTORIUS TOWER QRJは、サイクルタイムとコストを最小限に抑えて、頻繁な製品変更を簡素化するための柔軟性の高い高速モジュラーオプションを提供します。統合された高速ウェハソートおよびハンドリング機能により、効率的で正確なウェハソート、ロード、アンロードが可能です。ロボットアームは、ユーザーのニーズに応じてウェーハの動きを簡単に調整するためにプログラムすることができます。さらに、ウェーハの正確な位置決めのための自動アライメント機能を搭載し、最高の効率と品質を実現しています。TOWER QRJは、ウェーハごとにプロセスパラメータを正確に制御し、一貫性のある結果を保証します。一体型センサの配列により、圧力、温度、湿度などの変数に関するリアルタイム情報を提供することができます。さらに、このツールは、最適な統合と自動化のためのスマートプロセス制御アルゴリズムを備えています。SARTORIUS TOWER QRJの高度な自動化により、同じデバイスでさまざまなウェーハ処理ステップを簡単に実行できます。フォトレジストコーティング、光学検査、クリーニング、ドライエッチングなどの印刷プロセスをサポートします。ダミーウエハソースを内蔵しているため、シングルウエハー処理が可能で、ウエハーの寿命が長くなります。最後に、TOWER QRJは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、簡単な操作と機械制御を可能にします。このアセットには、スリップ、短絡、詰まったモーター、および処理中に発生する可能性のあるその他の故障を防止するための安全機能も内蔵されています。SARTORIUS最高品質と信頼性の高い性能を備えたSARTORIUS TOWER QRJは、マルチレベルのウェーハ処理およびパッケージング要件に最適です。