中古 ROBOTTONICS ZMU 100P2 #293622168 を販売中

ROBOTTONICS ZMU 100P2は、ウェーハの平面化と平滑化を精密に自動化するために設計された先進的なウェーハ処理装置です。独自の2相ICプロセスを採用し、低圧化学機械平坦化（CMP）と高度な表面研磨技術を組み合わせて滑らかで均一な表面を生成します。高精度のロボットアームを搭載し、調整可能な速度で移動することで、丸型ウエハと角型ウエハの両方を正確に処理することができます。ロボットは特定のパターンに従うようにプログラムすることができ、さまざまな種類のウエハの処理に適しています。ZMU 100P2は、優れた精度と再現性を提供します。最大100kgの可動プラットフォームを搭載し、200mmまでの大型ウエハーの加工が可能です。1回に最大6枚のウェーハを収容可能で、ローラーベルトウェーハトレイを備え、個々のウェーハを効率的かつ安全に取り扱うことができます。ローラベルトトレイを使用すると、ウェーハの手動転送が不要になり、スムーズで効率的なワークフローが実現します。ROBOTTONICS ZMU 100P2は、ウェーハのわずかなずれを検出し、平面化精度を向上させる高度な運動およびイメージング技術を備えています。また、工具問題の自動検出と修正が特徴で、平面化の不規則性を防ぎ、表面の滑らかさを向上させます。さらに、ZMU 100P2は高度な自動化とツール制御を備えており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとカスタマイズ可能な設定により、ユーザーは最適化されたウェーハ処理のための特定のレシピを作成できます。このアセットは、太陽電池製造用の平面化ウェハ、精密部品のショットピーニング、半導体材料のCMPなど、幅広いウェハ堆積およびCMPアプリケーションに適しています。高度なイメージング、モーションコントロール、オートメーション機能を備えたROBOTTONICS ZMU 100P2は、さまざまな種類のウェーハ処理用の信頼性と費用対効果の高いオートメーションソリューションです。