中古 RITEC BR-640 #293667694 を販売中

RITEC BR-640は、半導体・MEMS用途向けに設計された先進的なウェーハ加工装置です。直径6インチまでのウェーハ加工が可能な堅牢な設計と、ウェーハレベルの加工ニーズに合わせた様々な機能を備えています。このユニットは、デュアルプレセッションターボ分子で設計された強力な真空を備えており、プロセスチャンバーに安定した一貫した環境を提供します。また、高度なプラズマジェネレータと統合された自動チューンインモジュールを備えており、プラズマの均一性を向上させています。この機械には、チャンバー内の一定の温度を維持するように設計された冷却ツールと、プロセスパラメータをより良く制御するための個別の超低圧力レギュレータが含まれています。蒸着アセットは複数の酸化源と蒸着源を備えており、幅広い高度なプロセスレシピに対応できます。酸化、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、物理蒸着（PVD）、リアクティブイオンエッチング（RIE）、イオンミリングなど、さまざまなプロセスを実行することができます。このモデルは、プロセスの柔軟性を最大限に高めるために設計されており、複雑で複雑なエッチングと蒸着レシピをプログラムできる洗練された自動化装置が含まれています。このシステムは強力なビジョンユニットを備えており、ウェハ表面の高解像度イメージングを提供します。これにより、オペレータは武器生産のさまざまな段階を簡単に監視し、高品質の製品を保証することができます。機械はまたプロセスの前にそして間に不必要な粒子の取り外しを保障する高度の粒子制御の監視を含んでいます。このツールは、使いやすさとメンテナンスのために設計されています。これには、統合されたメンテナンスツールと自動クリーニングが含まれており、資産が常に最適な状態にあることを保証します。また、高度な診断モデルが含まれているため、オペレータは主要な問題を作成する前に潜在的な問題を迅速かつ簡単に特定できます。全体として、BR-640は半導体およびMEMSアプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された高度なウェーハ処理装置です。さまざまなウェーハや複雑なプロセスレシピに柔軟で強力なプロセスを提供するように設計されています。このシステムは使いやすく、メンテナンスも簡単で、高度なビジョンユニットと粒子制御モニタリングを備えており、プロセスの品質と効率を向上させます。