中古 RICOR BS31A005A #9314241 を販売中

RICOR BS31A005Aは、さまざまなアプリケーション向けに設計された先進的なウェーハ処理装置です。最適な性能と耐久性を提供する信頼性の高いシステムです。このユニットは、スキャナとプロセスチャンバーの2つのコンポーネントで構成されています。機械の主成分は光学走査器であり、高精度のX線フォーカシングオプティクスを備えた精密走査器です。スキャンヘッドには、細かいディテールをキャプチャし、ウェーハ表面の微妙な欠陥を検出することができるカラーCCDカメラが装備されています。このスキャナは、厚さ25mmまでの直径375mmまでのウェーハ表面を高速かつ正確にスキャンできるように設計されています。プロセスチャンバーはスキャンヘッドに対応するように設計されており、さまざまな特殊プロセスモジュールが含まれています。これは、高速回転ディスクテーブル、モーションステージ、暖房プラットフォーム、真空ポンプなどが装備されています。チャンバーのモーションステージは、目的の処理パラメータを達成できるように基板位置を正確に制御するように設計されています。さらに、高精度な加熱プラットフォームにより、チャンバー全体の温度分布が均一になり、ウェーハの均一な処理が可能になります。また、ウェーハ処理ツールを不正アクセスから保護するため、安全ロックやパスワード認証などのセキュリティ機能を確立しています。さらに、高度なデータロギングと分析機能により、プロセスに関連するイベントを追跡し、さらに分析するためのデータを収集することができます。結論として、BS31A005Aはさまざまなアプリケーション向けに設計された高度なウェーハ処理資産です。高速かつ正確なスキャン、均一な処理、そして最も重要なのは安全なアクセスです。このモデルは、効率的で信頼性の高い精密なウェーハ処理を提供するために最適化されています。