中古 QUORUM TECH / BIO-RAD / POLARON E3100 Jumbo #126397 を販売中

QUORUM TECH/BIO-RAD/POLARON E3100 Jumboは、フォトリソグラフィや薄膜市場での要求の厳しいニーズに対応した、汎用性と信頼性の高いウェーハ加工装置です。このシステムは、40ジュールを超えるパルスエネルギーと12 kHzまでのパルスレートに達することができる高出力の産業用グレードレーザー源とコントローラを備えています。これらの機能により、高度な薄膜構造やダイレクトライトリソグラフィ用途向けに、精密かつ反復可能なパターン転送が可能になります。また、精度の高いXYスキャンステージを備え、高精度なナノスケール3軸制御を提供します。ステージの動作範囲は40mmで、解像度は0。5ミクロンです。さらに、ステージは0。2ミクロンの再現性を持ち、300mm/秒までの速度に達することができます。また、高性能のプログラマブル露出ヘッドを備えており、ダイレクトライトリソグラフィおよびスキャンアプリケーション用の堅牢な光学経路を提供します。ヘッドの光学倍率は最大22倍、開口数は最大0。45で、0。1ミクロンという小型の画像機能を備えています。このツールには、放出されたレーザー光線の品質を監視するためのビーム診断パッケージ、レーザーパラメータを設定するためのスキャナーコントローラ、および最大の機器安定性のためにモデルのバルク温度を制御できる専用の冷却アセットなど、幅広いアクセサリと周辺機器が装備されています。最後に、システムはスタンドアロンモードまたはネットワーク構成で動作し、効率を最大限に高めるように設計されています。ネットワーク構成では、単位は任意PCのコントローラーに機械のリモート・コントロールおよび管理を可能にする接続できます。結論として、BIO-RAD E3100 Jumboは、高度なフォトリソグラフィおよび薄膜加工ニーズに対応する強力で耐久性があり、信頼性の高いツールです。洗練された慎重に設計されたコンポーネントと機能により、幅広い用途で期待を超えることができます。