中古 PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414 を販売中

PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3ウェーハ加工装置は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスのフルレンジをサポートするように設計された先進的な産業用ツールです。これは、統合されたロボティクスシステムと高度なプロセス制御技術の完全な範囲と優れたプロセスレシピのライブラリを備えています。このユニットは、複雑な電子デバイスとフォトニクス機器の効率的で正確かつ再現性のある生産に最適化されています。このマシンには、180mmウェーハとパターン移動/成膜サブステージを正確なモーションコントロールと正確なウェーハ位置/向きで移動できる3軸ロボットハンドリングユニットが内蔵されています。また、3つのチャンバーとマッチングウエハトランスファーチャンバーを備えており、正確な温度、圧力または真空制御を可能にします。このツールは、直感的なユーザーインターフェイスと強力なプログラミング&データ収集ソフトウェアパッケージを備えており、マスクアライメント、堆積、酸化エッチング、レジスト開発、湿式およびドライクリーニング、レーザーパターニング、および追加の定義されたプロセスシーケンスの統合のためのプロセスレシピを簡単にセットアップできます。統合された制御資産は、正確なプロセス制御と再現可能な結果を保証するように設計されており、最大のパフォーマンスと歩留まりを保証します。成膜、アライメント、オプティカルエッチング、マスク製造の完全自動化を可能にします。最大48のシングルパルスまたはツインパルスプロセス、複数のチャンバに対する可変周波数制御、可変時間制御機能、および粒子濾過を備えています。レーザーリソグラフィ機能には、Gen2レーザパターニング、交互レーザパターニング、低k誘電エッチングなどがあります。このモデルはまた、目視検査装置を介して高度なプロセス監視機能を提供します。GEMETEC WSPS-3には、安全ハーネス、すべてのプロセスモジュールおよび機械部品の緊急停止ボタンなどの優れた安全機能もあります。これは、低電圧操作、最小限の熱出力、高性能などの特定の機能で高精度の要件を満たしています。熱配分を改善し、層の均一性を向上させるための優れた熱管理システムを備えています。このユニットは、自動化された測定機器とも互換性があり、複雑なウェーハ処理に最適です。