中古 PNT 15C-HS-IRU-800 #9308424 を販売中

PNT 15C-HS-IRU-800は、最新の集積回路用の精密基板の高効率製造をサポートするために設計された特殊なウエハ加工装置です。15インチのウェーハキャリアユニット、マルチゾーン高速赤外線暖房（HS-IR）ランプ、加工時の温度・湿度条件を正確に制御できるクローズドループ冷却機を搭載しています。15C-HS-IRU-800ツールの中核は、高精度の加熱/冷却アセットです。このモデルは、900°Cまでの均一な加熱を可能にする水晶赤外線（QIR）ヒーターと、最大1,200リットル/分の冷却水流を備えた高流量冷却装置を備えています。このシステムは直感的なユーザーインターフェイスで自動化されており、オペレータはいくつかの簡単なコマンドですべてのパラメータを制御できます。自動ゴミ収集機、ヒートマップ、3Dモデルビューアを搭載し、ウェーハ下面をリアルタイムで見直すことができます。PNTウェハキャリアツールは密閉された加工チャンバーに内蔵されており、10ミクロンの分解能で正確な基板の動きを実現しています。最大15インチウェーハをサポートし、より大きな基板に簡単にアップグレードできます。キャリアアセットは、円形または直線運動などの複数のアプリケーションモードをサポートします。それはまた異なった基質の形および特定の適用条件のために容易にカスタマイズ可能です。このモデルは、マルチゾーンおよびマルチアングルの加熱/冷却操作を可能にします。HS-IRランプは、900°Cまでの高出力の均一な加熱を提供し、各ゾーンを独立して制御します。ランプは湿気のような環境条件に敏感で、装置は自動的にそれに応じて加熱プロセスを調節できます。システムには、さらに高い温度のための追加の中央暖房オプションを装備することもできます。PNT 15C-HS-IRU-800は、最高品質と精度のウェーハ製造をサポートするように設計された、熟練した徹底的にテストされたユニットです。高効率処理、精密制御、信頼性の高い性能を提供します。このマシンには、延長保証と包括的なテクニカルサポートパッケージが付属しています。このツールは、高精度のウェーハ処理が最も重要な集積回路の製造に最適です。